EBARA荏原干式罗茨真空泵华南一级代理

产品简介：

EBARA荏原干式罗茨真空泵华南一级代理
其独特的转子设计和空转功能实现了节能和紧凑的尺寸，从而降低了运行成本。此外，多种耐腐蚀材料可选，使其应用范围广泛，从轻负载应用（例如负载锁和扫描电镜）到腐蚀性工艺均可胜任。

Name: EBARA荏原 干式罗茨真空泵 华南一级代理ESR30N
Brand: EBARA/荏原
Price: 1888 CNY
Availability: InStock

产品型号：ESR30N

更新时间：2026-07-08

厂商性质：经销商

访问量：17

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产品介绍

EBARA荏原干式罗茨真空泵华南一级代理
EBARA荏原干式罗茨真空泵华南一级代理

一、产品定位

ESR 是荏原轻量化通用型无油罗茨干泵，主打轻 / 中负载、间歇抽气、低噪音、节能、紧凑型机身，是半导体产线基础通用真空泵，定位介于小型轻载干泵与重载 EV-M/EST 之间。

适配无大量粉尘、低固态副产物工艺：Load-Lock 传输腔、晶圆预抽、SEM 检测、常规镀膜、光伏通用制程；标配水冷、全无油结构，满足 SEMI S2、CE、NRTL 无尘车间安全标准，50/60Hz 频率抽速性能一致，设备集成与狭小 Subfab 机房优选机型。

二、核心结构与五大核心技术

整机采用多级非接触式罗茨转子，工艺气腔与轴承齿轮润滑腔隔离，润滑脂不接触制程气体，杜绝油气污染晶圆。

1. 轻量化低振动转子设计

优化小型化罗茨叶轮，整机重量、占地面积大幅缩减；动平衡优化，运行噪音、振动远低于同抽速重载泵，适合设备机台内置安装。

2. 智能怠速节能系统（核心卖点）

负载自适应调速逻辑：腔体保压、待机间歇工况自动降速进入怠速模式，极限真空待机功耗仅 0.7~3kW，对比定速干泵节电 40% 以上，匹配 Load-Lock 频繁启停抽气特性，大幅降低长期电费成本。

3. 分级防腐材质方案

标准 N 型：不锈钢腔体，适配常规轻微腐蚀工艺（蚀刻清洗、常压薄膜）；
WN 强化防腐型：NiResist 镍合金腔体 + 镍涂层，可选氮气轴封，耐受少量氟、氯基腐蚀气体，轻度卤素工艺通用。

4. 一体化智能 LCD 控制系统

本地彩色触控面板，实时显示真空度、水温、电机负载；故障自诊断、报警履历存储、氮气吹扫阈值可编程；支持 RS232、Modbus、CC-Link、Profinet 总线，无缝对接工厂 MES 自动化系统。

5. 全域安全连锁保护

缺水、超温、电机过载、进气压力异常自动停机；标配急停按钮、本地声光报警，整机水冷回路独立温控，进水温度上限 30℃，运行稳定无过热风险。

三、全系主流型号标准参数表

型号命名规则：N = 标准防腐；WN = 镍合金强化防腐重载款

型号	额定抽速 (L/min)	极限真空 (Pa)	冷却水量 (L/min)	整机重量 (kg)	额定最大功率 (kW)	进气法兰
ESR20N	2000	≤2.0	2~8	90	2.5	NW40
ESR30N	3000	≤1.0	3.5~8	170	4.5	NW40
ESR80WN	8000	≤0.5	3.5~8	180	5.0	NW50
ESR100WN	10000	≤0.3	3.5~8	210	7.0	NW50
ESR200WN	20000	≤0.13	3.5~8	250	8.0	NW100
ESR300WN	30000	≤0.1	3.5~8	390	10.6	ISO100
ESR500WN	46000	≤0.1	3.5~8	500	12.3	ISO160

数据来源：荏原原厂样本手册

四、ESR / EV-M / EST 三大干泵选型区分表

对比维度	ESR（通用轻载罗茨）	EV-M（重载罗茨）	EST（重载螺杆）
转子结构	多级小型罗茨	大容积重载罗茨	单级异形螺杆
核心优势	体积小、*、怠速节能、性价比高	极限真空更低、氢气抽气性能强、高温防沉积	抗粉尘结块、大瞬时气载、适配高粉末 CVD
维护周期	中等，粉尘少场景省心	长，适配刻蚀轻度副产物	最长，大量固态副产物优选
极限真空	0.1~2Pa	≤0.01Pa	≤0.4Pa
优工艺	Load-Lock、传输腔、检测设备、无粉尘薄膜	干法刻蚀、ALD、RTP 退火、氢氛围制程	LPCVD/PECVD/MOCVD、硅化物高粉尘沉积
机身特点	轻量化、占地小，可内置设备	立式大流量机柜，真空下限优秀	重载加厚腔体，防腐基材标配

五、产品核心综合优势

极低综合使用成本
全无油设计，无需定期更换真空油、油滤；怠速节能大幅降低电费；轻量化结构拆装检修便捷，人工维护工时少。
安装适配灵活
机身紧凑带万向脚轮，既可独立放置 Subfab 机房，也能集成在镀膜、检测设备内部；水冷散热无排风粉尘干扰，洁净车间适配性强。
宽工况通用兼容
3 相 200V/400V 宽电压可选，*工厂通用；间歇抽气、连续保压、低速维持真空均可稳定运行。
洁净无二次污染
全干式气流通道，无润滑油返流风险，满足 8/12 寸晶圆、OLED 面板高洁净生产标准。
拓展选配丰富
氮气轴封、前置粉尘过滤器、冷阱对接接口、远程监控模块、防爆安全组件、独立声光报警系统。

六、典型应用行业 & 工艺

1. 半导体晶圆制造（主力场景）

Load-Lock 预抽腔、晶圆传输腔、离子注入前处理、SEM/TEM 检测机台、薄膜预处理、常压清洗、常规轻度腐蚀工艺。

2. 显示面板 LCD/OLED

基板预抽、腔体传送真空、光学检测、无高粉尘蒸镀制程。

3. 光伏新能源

硅片退火预处理、薄膜硅电池通用真空、组件封装真空设备。

4. 科研与精密工业

光学镀膜、电子元器件真空封装、实验室小型反应腔体、精密真空检测仪器。

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一、产品定位

二、核心结构与五大核心技术

1. 轻量化低振动转子设计

2. 智能怠速节能系统（核心卖点）

3. 分级防腐材质方案

4. 一体化智能 LCD 控制系统

5. 全域安全连锁保护

三、全系主流型号标准参数表

四、ESR / EV-M / EST 三大干泵选型区分表

五、产品核心综合优势

六、典型应用行业 & 工艺

1. 半导体晶圆制造（主力场景）

2. 显示面板 LCD/OLED

3. 光伏新能源

4. 科研与精密工业

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