DIC迪爱生 eFLOW超纯水防静电/脱气一体装置
eFLOW P = Panel mount 面板机架式，是 DIC SEPAREL 膜技术集成一体机，内置 PF-L 大流量脱气膜模组，同时实现两大核心功能

一、产品定位与命名说明

1. 系列定义

2. 型号命名规则

• 1AP / 2AP / 4AP：单 / 双 / 四模组配置（AP = 标准洁净面板款）

• B01/B02：管路洁净等级、接头规格后缀

• 内置膜芯：PF-001L-ND2 / PF-001L-NA（大流量低压损纯水专用 PF-L 系列）

二、双重核心工作原理（脱气 + 防静电一体）

1）脱气功能（内置 PF-L 内灌流膜）

2）防静电控电阻率（CO₂膜溶入系统）

1. 一路超纯水单独通入 PF-L 模组，外侧通入高纯 CO₂，制成CO₂饱和纯水；

2. 饱和碳酸水与主路高纯水按比例自动混合；

3. CO₂电离微量离子，精准下调纯水电阻率（区间 0.1~15 MΩ・cm 可调）；

4. 提升水体导电能力，快速导出静电，避免静电击穿精细线路、粉尘静电二次吸附基板。

三、P 系列主流型号完整参数

通用工况参数

• 工作水温：20～30℃（优），5～40℃极限

• 液体工作压力：0.1～0.3MPa，瞬时耐压 0.5MPa

• CO₂供气压力：0.05～0.15MPa

• 膜芯质保：原厂 5 年长效寿命

• 接液材质：UPVC 壳体 + 低析出 EPDM 密封，无金属离子析出，半导体高洁净标准

四、P 系列（面板式）核心优势

1. 集成一体，省去两套设备采购

2. EIA 标准面板机架，设备集成友好

3. PF-L 大流量低压损膜芯

4. 电阻率闭环精准自控

5. 低析出、半导体无尘制程适配

6. 故障率低，运维简单

五、适用介质（仅限纯水体系）

六、典型应用场景

1. 半导体晶圆制程

   8/12 寸硅片 SC 清洗、掩模版清洗、高压纯水喷射切割，消除静电击穿栅极、粉尘吸附缺陷；

2. LCD/OLED/ 显示面板

   玻璃基板、彩色滤光片水洗工序，防止静电造成像素断线、色斑；

3. 光伏硅片、功率器件 SiC 清洗

   纯水循环脱气 + 防静电，避免硅片氧化水印、静电损伤外延层；

4. 光学元件、精密零部件超纯水喷淋清洗

七、eFLOW P（面板式） vs C（落地柜式）区别

八、使用与维护要点

1. 进水必须预先过滤（5μm 精密过滤器），防止颗粒堵塞 PF-L 膜丝；

2. 每 1～2 个月对内置 PF-L 模组反向纯水冲洗，恢复脱气效率；

3. CO₂钢瓶配套减压阀稳压 0.05～0.15MPa，气路全程密封防泄漏；

4. 长期停机需排空管路，用超纯水封存膜芯，避免干燥失效；

5. 严禁通入有机溶剂、，膜体溶胀后损坏。

九、和单独 PF 脱气模组选型区分

1. 仅需纯水脱气、无防静电需求：选 PF-D（中小流量）/PF-L（大流量）单支膜柱；

2. 清洗工序既要脱泡除氧，又要消除静电、控电阻率：直接选用eFLOW P 系列一体机；

3. 蚀刻液、光阻、溶剂强腐蚀药液脱气：单独选用 PF-F 氟膜模组，不可搭配 eFLOW。