DIC迪爱生 表面活性剂专用脱气模组
中空纤维：改性聚烯烃 SS 致密膜
壳体：UPVC 耐腐蚀洁净塑料
密封：低析出特种 EPDM 橡胶
限制：不耐 HF、浓强酸强碱、有机溶剂；含溶剂药液必须选 PF-F 氟系

一、型号命名释义

• AG = Agent：专为含表面活性剂、低表面张力液体开发的专用脱气产品线，归属EF 外灌流架构（区别 PF 内灌流）

  EF：External Flow 外部灌流（液体走中空纤维外侧，真空通入纤维内腔）

• AG 数字后缀：流量规格（AG1/AG3/AG5）；SX = 微量微型款、X = 通用标准款

• 核心膜材：DIC 自研SS 致密表皮中空纤维膜（外壁 1μm 致密无孔皮层）

二、核心结构（EF 外灌流 vs PF 内灌流）

1. 流体走向

   液体在中空纤维外部流动，真空 / 工艺气体通入纤维内部；

2. SS 致密表皮膜核心特性

   膜外层致密无物理微孔，只允许气体分子扩散透过，阻挡表面活性剂、颜料、树脂、颗粒进入膜内部，从根源避免膜孔堵塞；普通 PF-D/L 多孔膜接触活性剂极易堵膜失效。

3. 低压损流道：液体环绕纤维流动，流通截面积大，同等流量下压损远低于 PF 系列。

4. 脱气 / 溶气两用：真空模式除溶解氧、微气泡；通气模式可溶 N₂/CO₂调配工艺液。

三、接液材质

• 中空纤维：改性聚烯烃 SS 致密膜

• 壳体：UPVC 耐腐蚀洁净塑料

• 密封：低析出特种 EPDM 橡胶

• 限制：不耐 HF、浓强酸强碱、有机溶剂；含溶剂药液必须选 PF-F 氟系

四、主流 EF-AG 型号基础参数

五、AG 系列核心优势

1. 适配表面活性剂液体（最大亮点）

   清洗剂、显影液、水性光阻、水性墨水、电镀润湿剂、消泡剂体系长期稳定运行，不会被活性剂浸润堵膜，PF-D/L 无法长期使用此类液体。

2. 极低压力损失

   外灌流环绕式流道，高粘度水性液体、高固含涂料输送阻力小，无需加大泵功率。

3. 抗污染、维护周期长

   致密表皮阻隔大分子吸附，3–6 个月才需反向冲洗；普通纯水膜 1 个月易衰减。

4. 小型化集成

   微型 AG1SX 适配生化分析仪、微型喷墨设备；AG5X 适配单机涂布机、清洗机。

5. ppb 级深度脱气

   水中溶氧低脱至＜1ppb，消除气泡造成涂布针孔、检测数据漂移。

六、可处理介质（AG 专属适用）

• 各类含表面活性剂水性清洗液、晶圆碱性清洗药液

• 水性光刻胶、水性彩色光阻、水性工业喷墨墨水

• 电镀润湿液、光学镀膜水性涂料

• 生化试剂、液相流动相、稀释缓冲液

  禁止使用：、IPA、PGMEA、丙酮、浓剥离液、有机溶剂（腐蚀溶胀，选用 PF-F）

七、典型应用场景

1. 半导体 / 面板湿法工艺

   水性显影液、晶圆 SC-1 清洗液、含活性剂漂洗水在线脱气，避免气泡造成图案缺陷；

2. 水性喷墨打印

   水性颜料墨水、纺织涂料墨水脱泡，杜绝断墨、喷头堵塞；

3. 生化 / 医疗分析设备

   全自动生化仪、离子色谱微量试剂脱气，保证分光检测精度；

4. 光学、光伏清洗

   硅片、玻璃基板含润湿剂清洗水循环脱气，防止水印、氧化。