DIC迪爱生 PF-T 系列脱气模组
核心材质
膜丝：耐高温改性 PMP 聚烯烃
壳体：UPVC 洁净塑料
密封：特种耐温 EPDM 橡胶

一、型号命名释义

• PF：内灌流结构（液体走中空纤维管内，外壳侧通真空 / 工艺气）

• T = Temperature resistant 耐高温改良后缀，分两类：

1. PF-XXD-T / PF-XXL-T：纯水用改性聚烯烃耐高温款（PF-D/L 基础升级）

2. PF-XXF(T)：全氟 PTFE 耐药液低阻款（PF-F 基础低压损改良，行业常简称 PF-T 氟系）

二、两类 PF-T 材质与定位区分

1）纯水型 PF-D-T / PF-L-T（高温纯水专用）

核心材质

• 膜丝：耐高温改性 PMP 聚烯烃

• 壳体：UPVC 洁净塑料

• 密封：特种耐温 EPDM 橡胶

关键参数（对比标准 PF-D/L）

• 标准 PF-D/L：最高 40℃；PF-T 纯水款最高 60℃连续运行

• 液体耐压：0.3MPa

• 脱气能力：水中溶氧稳定脱至＜1ppb

适用介质

核心优势

1. 耐温提升 50%，适配半导体高温水洗槽、光伏热水清洗线；

2. 密封件抗高温老化，长期高温工况无析出、不漏气；

3. 保留可反向冲洗、低离子溶出、脱气 / 溶氮两用特性；

4. 尺寸、流量接口与同规格 PF-D/L 通用，可直接替换。

2）耐化学型 PF-F (T)（行业俗称 PF-T 氟系，光刻 / 溶剂专用）

核心材质（全氟无金属接液）

• 膜丝：超薄 PTFE 全氟透气膜

• 全部接液：PFA/FEP 氟树脂，无普通橡胶、无金属离子析出

改良亮点（对比普通 PF-F）

1. 流道优化、极低压力损失：同等流量下压损降低 30%，适配高粘度光刻胶、粘稠溶剂墨水；

2. 膜丝排布优化，抗堵塞，粘稠药液不易积垢；

3. 真空侧流道扩容，抽气效率更高，高粘度液体脱泡更稳定；

4. 耐化学不变：耐受 HF、浓酸、强碱、IPA、光刻胶稀释剂、各类有机溶剂。

标准温度压力

三、主流型号清单

纯水耐高温 PF-T（聚烯烃）

• PF-001D-T（小流量高温纯水）

• PF-004D-T（中流量高温支路）

• PF-001L-T / PF-004L-T（大流量高温主循环）

耐化学低压损 PF-F (T)（PTFE 氟膜）

四、四大 PF 系列完整选型对比（D/L/F/T）

五、典型应用场景

1. 纯水型 PF-D/L-T（高温款）

1. 半导体 8/12 寸高温纯水清洗槽在线脱气；

2. 光伏硅片热水循环除氧，防止硅片水印氧化；

3. 面板厂高温 DI 水清洗回路；

4. 制药纯化水、食品高温工艺水循环。

2. 氟系 PF-F (T)（低阻耐化学 T 款）

1. 半导体光刻胶、显影液、剥离液、CMP 研磨液脱泡；

2. LCD/OLED 彩色光阻、稀释剂供液脱气；

3. 溶剂型工业喷墨墨水（高粘度）防断墨、堵喷头；

4. 锂电池电解液、含表面活性剂粘稠药液脱气。