DIC迪爱生 全氟耐化学中空纤维脱气模组
PF：内部灌流结构（液体走中空纤维管内，真空 / 工艺气体通外壳侧）
F = Fluorine 氟系，全 PTFE 接液专用耐化学款（对标纯水通用 PF-D）

一、型号命名规则

• PF：内部灌流结构（液体走中空纤维管内，真空 / 工艺气体通外壳侧）

• F = Fluorine 氟系，全 PTFE 接液专用耐化学款（对标纯水通用 PF-D）

• 数字（03/05/10/13/28）：流量规格；后缀 (T)= 低阻低压损改良型

二、核心材质（与 PF-D 最大区别）

1. 中空纤维膜芯：PTFE 聚四氟乙烯超薄透气膜，透气不透药液、耐强腐蚀

2. 全部接液部件：氟树脂一体成型，无普通塑料、无橡胶析出

3. 外壳标配不锈钢；密封、接头全氟材质

4. 规避离子溶出、被药液溶胀腐蚀问题

三、脱气原理

四、核心产品优势

1. 耐化学腐蚀

   耐受 HF 、浓盐酸、强碱、蚀刻液、剥离液、IPA、丙酮、各类光刻胶 / 稀释剂、有机溶剂，半导体强腐蚀药液适配 PF 系列。

2. 零金属离子污染

   接液无金属、无普通橡胶，满足 8/12 寸晶圆高洁净制程要求。

3. 可反向冲洗再生

   内部灌流结构，杂质不易堵膜；定期反向冲洗恢复脱气效率，耗材寿命更长。

4. 高脱气效率

   PTFE 超薄皮层，小体积搭载超大膜面积，小流量药液也能稳定脱气。

5. 一体两用

   真空脱泡除氧 / 加压溶氮气二合一，减少管路、节省机柜空间。

6. 低析出、不溶胀

   有机溶剂长期浸泡不变形、不渗漏、无有机物溶出污染药液。

五、主流型号标准参数（通用标准型）

低压力损失 T 系列（大流量高粘度药液优选）

六、适配介质（PF-F ，PF-D 不可用）

• 强酸：HF、HCl、H₂SO₄、磷酸、各类蚀刻酸液

• 强碱：氨水、KOH、NaOH、显影液、剥离液

• 有机溶剂：IPA、丙酮、PGMEA、光刻胶稀释剂、醇类、酯类

• 功能性药液：CMP 研磨液、光阻、清洗溶剂、溶剂型喷墨墨水

七、典型应用场景

1. 半导体晶圆制程

   光刻胶供液脱泡、蚀刻 / 剥离 / 显影药液除氧、湿法腐蚀槽脱气、CMP 研磨液脱泡，消除气泡导致的晶圆针孔、断线不良。

2. LCD/OLED 面板制造

   彩色光阻、显影液、蚀刻液、剥离液在线脱气，提升涂布均匀性。

3. 精密喷墨打印

   溶剂型工业墨水脱气，杜绝喷头堵孔、断墨。

4. 化工 / 实验室精密分析

   强腐蚀试剂、有机流动相在线脱气。