DIC迪爱生 真空脱气模块 中空纤维脱气
一、型号命名规则
PF：内部灌流结构（液体走中空纤维管内，真空 / 气体在外壳侧）
D：Standard 通用标准型（区分耐化学 PF-F、大流量 PF-L 系列

一、型号命名规则

1. PF：内部灌流结构（液体走中空纤维管内，真空 / 气体在外壳侧）

2. D：Standard 通用标准型（区分耐化学 PF-F、大流量 PF-L 系列）

3. 数字（001/004）：流量规格代号，对应体积、耐压、处理流量

   主流型号：PF-001D、PF-004D

二、核心结构与材质

1. 中空纤维膜芯

   专用亲水性聚烯烃膜，透气不透水，可实现 ppb 级深度脱氧，水中溶氧低脱至 1ppb 级别；膜丝耐压、不易堵膜、支持反向清洗再生。

2. 外壳

   标准款耐腐蚀工程塑料；高洁净工况可选不锈钢壳体。

3. 密封组件

   耐化学特种橡胶，适配纯水、弱酸碱、低浓度化学品。

4. 双接口设计

   液体进出接口 + 真空 / 供气接口，一套模组两种工况切换。

三、两大核心功能

1. 液体深度脱气（真空模式）

1. 去除水中溶解 O₂、CO₂、N₂，消除气泡

2. 应用：超纯水、电镀液、清洗药液、光刻配套纯水

2. 液体溶气 / 供气（加压通气模式）

1. 半导体湿法氢水、臭氧水、氮气饱和纯水制备

2. 无需额外溶气罐，设备集成度大幅提升

四、核心产品优势

1. 超高脱气精度：ppb 级除氧，满足 12 寸 / 8 寸晶圆超纯水 Fab 标准；

2. 可反向清洗：定期水洗即可去除膜面杂质，长期稳定运行、耗材寿命长；

3. 耐温耐介质：适配常温纯水、弱酸碱清洗液，无离子析出污染；

4. 结构紧凑：小型圆柱式，便于机柜集成、产线改造；

5. 两用一体：脱气 / 溶气切换，减少管路、降低设备成本；

6. 低压力损失：纤维流道平顺，不增加水泵负荷。

五、主流型号基础参数

PF-001D

1. 处理流量：0.6～60 L/h

2. 最大耐压：0.3 MPa

3. 外形尺寸：φ60×140 mm

4. 接口：Rc1/4 螺纹、φ6 软管快插

PF-004D

1. 处理流量：3～180 L/h

2. 最大耐压：0.3 MPa

3. 尺寸更大，适配中流量超纯水支路

六、典型应用场景

1. 半导体晶圆制造

   超纯水循环脱气、湿法清洗槽药液除泡、氢溶水制备；

2. 面板 LCD/OLED

   显影液、蚀刻药液脱气，杜绝气泡造成面板针孔不良；

3. 精密电子清洗

   光学元件、PCB 高纯清洗液脱气；

4. 实验室 / 分析设备

   液相色谱流动相脱气、离子色谱纯水系统；

5. 特种水处理

   纯水除二氧化碳、氮气饱和纯水制备。