SHINKO SEIKI神港精机 侧喷射式油扩散泵
产品全称：SD-H 侧喷射（侧排气嘴）油扩散泵（Side Ejector 高背压加强款）
品牌：日本神港精机 SHINKO SEIKI
定位：SD 标准直喷泵的加强升级版，专门针对前级泵压力波动、放气量大、水汽多的工况；核心优势是临界背压大幅提升，不易熄火断流。
对应普通款：SD 直喷标准型扩散泵。

一、基础信息

核心特点

1. 超高允许背压（核心卖点）

   内置侧路喷射辅助喷嘴，临界背压远高于普通 SD 直喷型，前级真空波动时泵不会停止工作，无惧间断放气、腔体大量出气工况。

2. 极低油返流

   油蒸气回流量≤7×10⁻⁷～2×10⁻⁸ g/min・cm²，搭配挡油板可大幅减少镀膜腔体污染。

3. 铸铝一体式加热器

   加热均匀，不容易烧断，可长期连续 24 小时不间断运行，维护周期长。

4. SUS304 全不锈钢泵体

   耐水汽、弱腐蚀性工艺气体，水冷夹套恒温，真空性能不受水温、环境温度影响。

5. 真空度双档位可选

• 标配油 NEOVAC SX（SH-704）：极限真空 3×10⁻⁵ Pa

• 更换 DC-705 高真空油：极限真空可达 4×10⁻⁶ Pa（加热功率提升 20%~45%）。

6. 法兰统一日系 JIS 标准

   可直接对接 SV-L/SNV-L 直角真空阀，管路配套无缝衔接。

二、SD-H 全型号 + 技术参数表

备注：SD-H 系列仅覆盖中小主流口径，大口径高抽速机型仅保留 SD 标准直喷款。

三、SD-H（侧喷）VS SD（标准直喷）核心区别

1. 背压耐受

   SD-H 临界背压≈8Pa；普通 SD 仅 13Pa 以内极易熄火，前级泵轻微漏气就停机。

2. 适用工况

   SD-H：间断放气、腔体放气量大、含水汽、真空炉频繁启停；

   SD 直喷：连续稳定抽气、镀膜机稳定蒸发工况。

3. 能耗

   同等口径下，SD-H 加热功率略高，换取稳定不中断排气。

4. 价格：SD-H 侧喷机型高于同口径 SD 标准型。

四、可选配件

1. 真空油：SH-704 常规油、DC-705 超高真空低返流油

2. 水冷挡油挡板、液氮冷阱（抑制油蒸气返流）

3. 过热保护温控开关、水温监测组件

4. 配套阀门：SV-L 手动阀、SNV-L 气动真空挡板阀（同品牌 JIS 法兰成套匹配）

五、行业工艺应用

1. 真空热处理行业（优选 SD-H）

   真空退火炉、钎焊炉、烧结炉，工件加热释放大量气体，前级压力波动大，侧喷结构可以保证泵持续工作，不会断真空。

2. 间歇式蒸镀 / 蒸发设备

   批量镀膜机，开门进气后再次抽真空，大放气工况下机组运行更稳定。

3. 冻干、真空脱泡设备

   物料析出大量水汽，侧喷扩散泵抗负载能力更强。

4. 实验室高真空腔体、电子束设备

   频繁启停、间断排气的科研真空系统。

5. SiC 晶圆镀膜、金属蒸镀产线

   工艺气体波动大，优先选用 SD-H 侧喷款保障真空稳定性。