SHINKO SEIKI神港精机 标准油扩散泵
产品名称：SD 系列油扩散真空泵（标准型）
品牌：日本神港精机 SHINKO SEIKI

一、产品基础信息

1. SD 标准直喷型：常规高真空工况主流型号

2. SD-H 侧喷射型：临界背压更高，对前级泵耐受度更强

   配套前级泵：搭配 SVC、SR、SRB 系列油回转真空泵组成高真空机组。

核心特点

1. 大抽速、排气效率高：多级喷嘴结构，全口径保持稳定抽气速率，大腔体快速抽至高真空。

2. 极低油返流：油蒸气回流量≤7×10⁻⁷～2×10⁻⁸ g/min・cm²，大幅减少腔体污染，镀膜工艺良品率更高。

3. 长寿命铸铝加热器：一体铸铝加热结构，受热均匀，不易烧损，连续长时间稳定运行，维护周期大幅拉长。

4. 真空度可选：标配 SH-704 扩散油，极限真空 3×10⁻⁵ Pa；更换 DC-705 高真空油，极限真空可达 4×10⁻⁶ Pa（功率提升 20%~45%）。

5. 全不锈钢阀体：泵体 SUS304 不锈钢，耐水汽、轻微腐蚀性气体，坚固耐用。

6. 水冷结构稳定：整体水套冷却，油温恒定，真空性能不受环境温度波动影响。

二、SD 标准型全型号 + 完整技术参数

SD-H 侧喷加强型（高背压款）

三、配套耗材与可选配件

1. 扩散泵油

• 常规款：NEOVAC SX（SH-704），性价比优选

• 超高真空款：DC-705，抑制返流，获得更高真空度

2. 真空挡板 & 冷阱：水冷挡油板、液氮冷阱，进一步阻挡油蒸汽返流腔体

3. 真空阀门配套：可直连 SV-L、SNV-L 直角真空阀（同品牌管路匹配 JIS 法兰）

4. 温控组件：水温监测、过热保护继电器。

四、行业应用场景

1. 光学镀膜、半导体蒸镀：光学镜片、ITO 膜、金属蒸发镀膜机主抽高真空泵；SiC 晶圆镀膜真空机组。

2. 真空热处理：真空退火炉、钎焊炉、烧结炉高真空主泵。

3. 科研真空腔体：电子束设备、离子镀膜、实验室高真空系统。

4. 冶金 & 材料行业：金属提纯、真空熔炼、蒸铝生产线大抽速真空机组。

5. 冻干与真空干燥：大型冻干机、物料真空脱泡高真空系统。