SHINKO SEIKI神港精机 手动型高真空挡板阀
产品全称：SV-L L 型手动高真空阀
品牌：日本神港精机 SHINKO SEIKI
结构形式：直角 L 型法兰挡板阀，手轮手动启闭；对应气动款为 SNV-L 系列。

一、基础信息

核心特点

1. 大通导流导：阀板全开通流面积大，几乎不会损耗真空泵抽气速率，排气阻力极低。

2. 超高气密性：氦检泄漏率≤1.3×10⁻⁹ Pa・cm³/s，满足高真空工况密封标准。

3. 阀体材质可选：标准款 SS400 镀镍；耐腐蚀款 SUS304 不锈钢阀体。

4. 密封件选配：标配氟橡胶 FKM；普通真空环境可选 NBR 丁腈橡胶密封圈。

5. 法兰标准：JIS B2290 VG 槽真空法兰，匹配日系真空管路系统。

6. 结构牢固免维护：纯机械手动结构，无需气源与电控，无电气故障，适合现场手动操作。

二、完整型号清单（标准现货型号）

外形安装尺寸（单位：mm）

三、技术参数

• 驱动方式：手轮手动机械启闭

• 适用真空等级：高真空系统，极限真空可达 10⁻⁷ Pa

• 法兰：JIS VG 真空槽法兰

• 静态漏率：He 检漏 ≤1.3E-9 Pa・cc/sec

• 阀体：SS400 镀镍（标准）/ SUS304 不锈钢（耐蚀选型）

• 密封：FKM 氟橡胶（标配）/ NBR 丁腈橡胶

• 适用温度：常温真空工况

• 配套升级：可后期加装阀位指示开关

四、行业应用场景

1. 半导体真空设备：镀膜机、溅射设备、晶圆清洗腔体手动隔断阀；SiC 碳化硅工艺真空管路手动切断。

2. 真空热处理：真空退火炉、钎焊炉、烧结炉真空管道手动开关。

3. 实验室科研设备：电子束蒸发设备、高真空腔体旁路手动截止。

4. 冻干与锂电行业：真空干燥箱、冷冻干燥机、原料脱泡设备真空主路手动阀门。

5. 真空机组前端：旋片泵、干泵、扩散泵入口手动隔离阀，防止停机气体返流污染泵体。