SHINKO SEIKI神港精机 气动 L 型高真空阀
型号全称：SNV-L 系列 L 型气动高真空挡板阀
品牌：神港精机（SHINKO SEIKI，日本）
结构形式：直角 L 型法兰真空阀，气动气缸驱动，对应手动款 SV-L 系列。

一、产品基础信息

核心优势

1. 大通导设计：阀板全开时流导大，几乎不降低真空泵抽速，排气阻力极小。

2. 极低泄漏率：氦检漏率 ≤ 1.3×10⁻⁹ Pa・cm³/s，满足高真空工况密封要求。

3. 阀体坚固耐腐蚀：标准阀体 SUS304 不锈钢；可选 SS400 镀镍材质。

4. 密封耐用：标配氟橡胶密封；也可选用丁腈橡胶 NBR，适配普通真空环境。

5. 自动化配套：电磁阀电压可自由选型；可选装阀位开闭反馈开关；支持防爆耐压定制款。

6. 法兰标准：JIS B2290 VG 槽真空法兰，匹配日系真空管路标准。

二、完整型号矩阵（标准现货型号）

安装尺寸（单位 mm）

三、技术参数

• 驱动方式：压缩空气气动驱动

• 真空等级：高真空阀，适用于 10⁻⁷ Pa 级别真空系统

• 法兰：JIS VG 真空法兰

• 漏率：静态氦检漏 ≤1.3E-9 Pa・cc/sec

• 阀体材质：SUS304（标准）/SS400 镀镍（可选）

• 密封件：氟橡胶 FKM（标准）/NBR 丁腈橡胶（可选）

• 可选配置：阀位信号开关、防爆气缸、双作用气缸、电磁换向阀整套组件

四、行业应用场景

1. 半导体真空设备：溅射机、蒸镀机、晶圆清洗设备真空管路通断；SiC 碳化硅镀膜、刻蚀机真空隔断阀。

2. 科研真空腔体：实验室高真空腔体、电子束设备、镀膜机主路与旁路真空切断。

3. 热处理行业：真空退火炉、钎焊炉、淬火炉真空管道开关。

4. 锂电 / 冻干设备：真空干燥箱、冻干机、脱泡机真空管路气动切断。

5. 真空泵组：油旋片泵、干式真空泵、扩散泵前端隔离阀，保护真空机组不受腔体返流污染。