MIYUKI美幸辉 两段式缓抽气动真空蝶阀
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成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号命名规则（例：BH-J100）

1. BH：双气缸两段式气动蝶阀，三档位动作（全关→0~45° 慢开→90° 全开），核心实现慢抽 / 慢破真空工艺功能

2. J：法兰标准 = JIS 日标法兰，日系半导体、光学镀膜设备原厂配套通用法兰

3. 数字：公称通径 DN25A/40A/50A/63A/80A/100A/160A/200A/250A/300A/350A

• BH-J：两段缓抽气动开关阀（本文主推）

• B-J：单气缸两位通断阀，仅全开 / 全关

• BAR-J/BJ4-J：伺服电动连续调节蝶阀，配套 MGCS 做真空稳压

• BT-J：手动蝶阀，无气动驱动

二、产品核心定位

三、核心产品优势

1. 双气缸两段三档位动作（核心差异化）

   内置两级气缸结构，三种稳定阀位：

• 0° 全关：密封隔离管路

• 0~45° 小开度慢档位：缓慢抽真空 / 缓慢破真空，气流平缓无冲击

• 90° 全开：大通导快速抽气，缩短腔体抽气周期

  45° 慢开角度出厂可调，适配不同腔体容积工艺需求。

2. 超薄阀体大通导

   阀体厚度极薄，同口径流导远优于闸阀，抽气效率高；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安装。

3. 氦检级超低泄漏

• 蝶板内密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、光学镀膜氦检验收标准，长时间保压无渗漏。

4. 高洁净低产尘构造

   阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂无尘车间组装；内部无摩擦滑动结构，晶圆、光学膜等高洁净制程无颗粒污染。

5. 缓冲长寿命驱动气缸

   齿轮齿条传动，气缸两端内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；标准启闭寿命≥100 万次，适配产线高频循环工况。

6. 三档位独立阀位信号反馈

   标配多路微动开关（NPN/PNP 可选），可分别输出「全关、45° 慢开、90° 全开」到位信号，直接对接 PLC 做工艺联锁控制。

7. 多密封耐腐蚀选配

   标准 FKM 氟橡胶 O 圈；卤素等离子、酸碱腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封，耐化学腐蚀、耐高温。

四、通用标准技术参数