MIYUKI美幸辉 B-C系列 CF 刀口法兰
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、型号命名释义（例：B-C100）

1. B：标准单气缸两位气动蝶阀，仅0° 全关 / 90° 全开，管路纯通断隔离

2. C：代表CF 超高真空刀口法兰（无氧金属密封法兰，可高温烘烤除气，超高真空专用）

3. 数字：公称通径 DN25/40/50/63/80/100/150（B-C 最大口径 DN150，CF 法兰标准上限）

• B-C：两位气动开关阀（基础通断，本次主推）

• BH-C：双气缸两段式，支持 0~45° 慢抽 + 90° 全开，防冲气

• BAR-C：伺服电动连续调节蝶阀，0~90° 无级开度，搭配 MGCS 真空压力控制器闭环稳压

• BAZ-C：多档位定点电动阀，100 档机械锁止开度

• BL-C：可编程伺服阀，最多 14 档自定义阀位定位

二、产品核心定位

三、核心产品优势

1. CF 刀口金属法兰，超高真空适配

   两端 CF 刀口法兰，配套无氧铜垫圈金属密封，无橡胶法兰垫片放气；阀体整体可 150℃高温烘烤除气，腔体极限真空可达 10⁻⁷ Pa 级别，无油超高真空系统。

2. 超薄大通导结构

   阀体面间厚度极薄，同等口径流导远优于闸阀，大幅缩短腔体抽真空时间；无介质流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安装。

3. 氦检级超低泄漏指标

• 蝶板内部密封泄漏：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 阀杆轴封外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

  满足半导体、科研设备严苛氦检漏标准，长期保压无渗漏。

4. 无尘低放气镜面腔体

   阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢镜面电解抛光，原厂万级无尘车间组装；无内部滑动摩擦部件，低析出、低放气，适配晶圆、光学元器件等高洁净超高真空制程。

5. 缓冲长寿命气动气缸

   齿轮齿条驱动，气缸内置气垫缓冲，启闭无冲击、低噪音；标准启闭寿命≥100 万次，适配自动化高频循环工况。

6. PLC 联动阀位反馈

   标配内置微动开关（NPN/PNP 可选），实时输出阀门全开 / 全关到位信号，直接对接设备 PLC 安全联锁。

7. 耐腐蚀密封可选

   标准 FKM 氟橡胶轴封；卤素、酸碱等离子腐蚀工艺可升级Kalrez 全氟醚密封，耐高温耐化学介质侵蚀。