ULVAC爱发科涡轮分子泵

产品简介：

ULVAC爱发科涡轮分子泵
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

Name: ULVAC爱发科 涡轮分子泵UTM1300A-MS
Brand: ULVAC/日本爱发科
Price: 1888 CNY
Availability: InStock

产品型号：UTM1300A-MS

更新时间：2026-06-12

厂商性质：经销商

访问量：61

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产品介绍

ULVAC爱发科涡轮分子泵
ULVAC爱发科涡轮分子泵

这是一款采用磁悬浮轴承的独立控制器式涡轮分子泵。我们提供一系列型号，泵速范围从300升/秒到4000升/秒。控制器单元可监控运行状态，并支持多种通信标准。

特征

泵单元和控制器是分离的。
控制器单元可以监控运行状态，并支持多种通信标准。
安装方向自由
：由于安装方向没有限制，设备设计的自由度大大增加。
该系列发动机的排气速度范围从 300 升/秒到 4000 升/秒。
泵的转速可在 25% 到 100% 的范围内
变化，从而可以调节腔室压力。
高耐久性和安全性：
它通过了各种安全验证测试，包括大气进入试验和着陆试验。

目的

各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸发设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研发设备
不产生副产品的轻型工艺的主排气系统
其他应用包括一般高真空排气应用。

规格

表1

模型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A-MS
进气口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
排气口			KF25				KF40
冷却方法			水冷	空冷式	水冷	空冷式	水冷	空冷式	水冷	空冷式
极限压力*1		宾夕法尼亚州	10-7				10-8
排气速度*2	N2	升/秒	320		420		800		1080
	阿尔	升/秒	-
	他	升/秒	340		360		800		930
	H2	升/秒	320		340		700		790
压缩比	N2		1 × ^10⁹
	他		8×10 ⁴
	H2		1 × 10 ⁴				4 x 10 ³
最大进气压力*3		宾夕法尼亚州	200	1.3	200	1.3	400	1.3	400	1.3
最大排气压力*3		宾夕法尼亚州	400	40	400	40	665	40	665	40
转速		转速	45000				35000
启动时间			5分钟内
安装方向			可以朝任意方向安装。
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1-3	-	1-3	-	1-3	-	1-3	-
	水压	兆帕	02-0.5	-	02-0.5	-	02-0.5	-	02-0.5	-
噪音		分贝(A)	60
大量的		公斤	14				33		32
推荐辅助泵			200升/分钟或以上				500升/分钟或以上
控制器	作品		分离
	输入功率		单相交流电 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz)
	所需最大功率	千伏安	0.55				1.0
	可变转速功能		水泵的运行速度可以在指定转速的 25% 到 100% 之间变化（设置可以以 0.1% 的增量进行调整）。
	外部控制		联系输入/输出
			RS-232C / RS-485
	大量的	公斤	8

*1：表示操作顺序。
*2：无保护网时的数值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的条件无法同时满足。

表2

模型			UTM1300A-MS	UTM1500A-MS	UTM2400A-MS	UTM3400A-MS	UTM4300A-MS
进气口			VG200 / ICF253	VG250		VG300 / VG350	VG350
排气口			KF40
冷却方法			水冷
极限压力*1		宾夕法尼亚州	10-7
排气速度*2	N2	升/秒	1300	1500	2100	3200	4400
	阿尔	升/秒	-		2000	3100	4200
	他	升/秒	1050	1200	2240	3100	-
	H2	升/秒	750	800	1770	2200	2600
压缩比	N2		6×10 ⁸		1 × ^10⁹
	他		1 × 10 ⁴		7×10 ⁴	1 × 10 ⁵	3 x 10 ⁴
	H2		1 × ^10³		3 x 10 ³	6 × ^10³	2 × ^10³
最大进气压力*3		宾夕法尼亚州	133		40
最大排气压力*3		宾夕法尼亚州	270		270
转速		转速	30300		27000	27600	24000
启动时间			7分钟内		11分钟内	12分钟内	18分钟内
安装方向			可以朝任意方向安装。
表面处理			镀镍
冷却水	流速	升/分钟	1-3		2-4
	水压	兆帕	02-0.5
噪音		分贝(A)	60		57	60
大量的		公斤	39	42	70	84	105
推荐辅助泵			600升/分钟或以上		1300升/分钟或以上	1500升/分钟或以上
控制器	作品		分离
	输入功率		单相交流电 200-240V ±10% (50/60Hz ±2Hz)
	所需最大功率	千伏安	1.0		1.5
	可变转速功能		水泵的运行速度可以在指定转速的 25% 到 100% 之间变化（设置可以以 0.1% 的增量进行调整）。
	外部控制		联系输入/输出
			RS-232C / RS-485
	大量的	公斤	8

*1：表示操作顺序。
*2：无保护网时的数值。
*3：最大进气压力和最大排气压力的条件无法同时满足。

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