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ULVAC爱发科 真空角阀
产品简介:

ULVAC爱发科 真空角阀
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:VLP-SA150JH

更新时间:2026-06-12

厂商性质:经销商

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产品介绍

ULVAC爱发科 真空角阀
ULVAC爱发科 真空角阀

ULVAC的真空阀是基于我们在真空领域丰富的技术和经验开发的。
我们提供种类齐全的产品,以满足从常压到超高真空的各种需求。

    特征

    • 不锈钢角阀可承受高达 150°C 的烘烤温度。

    • 您可以从四种类型的连接法兰中进行选择:JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。

    • 我们提供双作用和单作用两种驱动系统。单作用系统只需要一根压缩空气管路。

    • 该材料为不锈钢。(但是,VLP-U 由铁制成,而 VAP、VAH 和 VFR 由铝制成。)

    规格

    模型VLP-SA
    阀板允许的最大压差(正压/反压)MPa0.10
    阀门开启时的最大允许压差(正压/反压):MPa0.10
    阀板密封系统〇 环
    轴封系统〇 环
    驱动系统双作用气缸
    泄漏率(外部)* 1 Pa·m³ / s≤1.0E-10
    泄漏率(内部)* 1 Pa·m³ / s≤1.0E-10
    工作压力范围(绝对压力)Pa大气压强 ~ 1.0E-5
    允许的烘焙温度(静止状态下)* 2 °C主机:150 * 3,驱动单元:70(传感器:60)
    工作环境温度 ℃5-70(传感器:5-60)
    流体温度 ℃5-70
    加热和冷却速率(℃/h)≤30
    使用环境和氛围无腐蚀性气氛
    所用液体无腐蚀性液体
    气缸供气压力(气压)MPaG0.40–0.60
    保证操作次数* 4100,000
    驾驶姿势自由
    开/关传感器可选(单独出售)
    真空侧主要部件材料SUS304
    大气侧的主要成分物质SUS304,AL-6061(阳极氧化铝)
    波纹管材料-
    密封件材料(真空侧)FKM
    油脂(真空侧)氟润滑脂
    吊装装置安装部分* 5
    RoHS一致

    *1 泄漏不包括通过 O 形圈的渗透。此外,对于 O 形圈轴封,规范中不包含开启和关闭操作期间的外部泄漏。
    *2 烘烤过程中请勿开启或关闭设备。
    *3 VLP-MB、VLH-MB 主机(开启):200℃,主机(关闭):150℃。
    *4 详情请参阅使用说明书。
    *5 VLP-SA350JH 主机配有悬挂装置(M12 x 2 个吊环螺栓)。





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