18825222238
18825222238
产品中心
当前位置：首页
产品中心ULVAC 爱发科 代理品牌SC1ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计
产品型号：SC1
更新时间：2026-06-08
厂商性质：经销商
访问量：12
服务热线
产品分类
ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计
ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计
测量探头和测量电路的集成结构
模拟输出和设定点输出
独立的伪对数输出和设定点输出（显示单元）
采用 48 x 96mm DIN 标准尺寸（显示单元）
各种制造设备（包括半导体和电子元件）的过程控制。
各种工业设备（包括熔炉）的过程控制。
适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备的工艺控制，例如在线式和单晶圆系统。
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自适应测量元件 | C-21、23、24、25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0 × 10⁻⁵至 1.0 Pa | ||
| 测量精度 | +100%，-50%（1.0 × 10⁻⁴至1.0 × 10⁻¹） | ||
| 工作温度范围 | 10至40℃ | ||
| 测量输出 | 非线性输出：直流 0V 至 10V（高压关闭时为 10V） | ||
| SETPOINT1/2 调整输出 | 非线性输出：直流 0 至 10V | ||
| 控制输入信号 | 高压开关 | ||
| 输出信号 | 开放式集线器，负逻辑 | ||
| 控制输出电压 | 出货确认/设定点 1/2 | ||
| LED显示屏 | 功率、高压、压力保护、设定点 1/2 | ||
| 电源 | 直流 24V ± 2V，150mA | ||
| 输入/输出连接器 | D-sub 转 15 针（M2.6 螺丝） | ||
| 体重 | 430克（不含测量探头） | ||
| 配件 | 输入/输出连接器组件（1 套） | ||
| 快速入门指南（第一部分） |
* I/O、模拟地线和电源地线未隔离。
关于我们
公司简介 企业文化 荣誉资质产品分类
EBARA荏原 华南一级代理 Kashiyama樫山优势品牌 ULVAC 爱发科 代理品牌新闻文章
新闻中心 技术文章联系我们
联系方式 在线留言 地图导航深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层
wl@tamasaki.com
扫码加微信
Copyright © 2026玉崎半导体（深圳）有限公司 All Rights Reserved 工信部备案号：粤ICP备2026042622号
技术支持：化工仪器网 管理登录 sitemap.xml
上一个：
返回列表
