ULVAC爱发科 热阴极电离真空计
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 可以连接多个具有不同测量范围的电离层规：使用多电离层规可以针对每个应用选择合适的电离层规。

• 紧凑：比传统型号小得多（控制器体积减少了 56%），使其成为小的型号之一。

• 提高了易用性：通过电脑/智能手机连接，可以设置设定点、查看状态等。

• 扩展产品线：除了模拟输出规范 (SH200-A) 和串行通信规范 (SH200-R) 之外，还计划增加 EtherCAT 规范 (SH200-E)。

• 耗材寿命通知功能：通过监测耗材的功率，系统可以在耗材即将达到使用寿命终点时提前通知您。

• 宽范围压力测量：能够测量从大气压到高真空（1 × 10⁺⁵^至5 × ^{10⁻⁸ Pa）的压力（当连接可选的 SWU10-R 单元时）。}

• 精确测量大气压力：允许确认腔室打开时的大气压力（当连接可选的 SAU 单元时）。

目的

• 用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）的高真空区域的过程控制。

• 用于验证具有多个工艺腔室的各种制造设备（如在线式和单晶圆系统）在高真空区域可达到的压力。

• 用于高真空和超高真空设备中的压力测量

规格

每种模式的规格

SH200-A/SH200-R/SH200-E 可以以三种方式使用：作为独立的多输入压力表，与皮拉尼压力表组合使用，或与皮拉尼压力表和大气压力传感器组合使用。

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 独立模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E + SWU10-R 组合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E + SWU10-R + SAU 组合模式
测量压力范围	5.0 × 10⁻⁸至1.0 × 10⁺⁻¹ Pa	5.0 × 10⁻⁸至1.0 × 10⁻⁵ Pa	5.0 × 10⁻⁸至1.0 × 10⁻⁵ Pa
测量精度	5.0×10 -8 ~1.0×10 +1 Pa： ±15%	5.0×10 -8～4.0×10 -1 Pa：±15% 4.0×10 -1～3.0×10 +0 Pa：±10～±15% 3.0×10 +0～1.0×10 +4 Pa：±10% 1.0×10 +4～1.0×10 +5 Pa：±20%	5.0×10⁻⁸ ~ 4.0×10⁻¹ Pa：±15% 4.0× 10⁻¹ ~ 3.0× 10⁺⁰ Pa：±10 ~ ±15% 3.0×10⁺⁰ ~ 1.0× 10⁺⁴ Pa：±10% 1.0× 10⁺⁴ ~ 3.0× 10⁺⁵ Pa：±3%FS (3.0×10⁺⁃ Pa・参考温度 25℃)
连接图像
测量压力范围图像	当需要检查“大气压力"时，例如打开舱室时，会使用三联表。

PC/智能手机连接图像

应用软件“UL-MOBI"

兼容设备

订单代码

*如需其他组合，请联系您的零售商。

主机	测量探头类型	安装类型	订单代码
SH200-A（模拟输出规格）	M-44	NW16	210006962800
	M-45	NW25	210006962900
	M-46	ICF070	210006963000
	没有测量探头	-	210006963100
SH200-A + Pirani SWU10-R 组合 （5米单元电缆）	M-44/SWP-16	NW16/NW16	210006969400
	M-45/SWP-25	NW25/NW16	210006969500
	M-46/SWP-CF16	ICF070/ICF034	210006969600
SH200-R（串行通信规范）	M-44	NW16	210006963500
	M-45	NW25	210006963600
	M-46	ICF070	210006963700
	没有测量探头	-	210006963800