ULVAC爱发科 热阴极电离真空计
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 提高了易用性：通过电脑/智能手机连接，可以设置设定点、查看状态等。

• 耗材寿命通知功能：通过监测耗材的功率，系统可以在耗材即将达到使用寿命终点时提前通知您。

• 可以连接多个具有不同测量范围的电离层规：使用多电离层规可以针对每个应用选择合适的电离层规。

• 紧凑：比传统型号小得多（控制器体积减少了 56%），使其成为小的型号之一。

• 产品线扩展：除了模拟输出规范 (ST200-A) 和串行通信规范 (ST200-R) 之外，还新增了 EtherCAT 规范 (ST200-E)。*我们将另行与您联系，告知相关更新详情。

• 世界优先三极管型金属电离真空计（）：即使在恶劣环境下，真空计也能实现较长的使用寿命。

• 宽范围压力测量：能够测量从大气压到高真空（1 × 10⁺⁵^至1 × ^{10⁻⁵ Pa）的压力（当连接可选的 SWU10-R 单元时）。}

• 精确测量大气压力：允许确认腔室打开时的大气压力（当连接可选的 SAU 单元时）。

目的

• 用于验证 OLED、触摸面板等制造设备的极限压力和过程控制。

• 用于验证各种工业真空设备（如真空炉）的极限压力。

• 适用于高浓度碳氢化合物（油基）环境的测量

• 在真空零件加工后，切削油或清洗液残留的环境中进行测量。

• 对于旨在减少真空计探头更换频率的真空设备而言。

*如果您打算在腐蚀性气体（卤素气体）环境中使用本产品，请咨询我们。

规格

每种模式的规格

ST200-A/ST200-R/ST200-E 可以以三种方式使用：作为独立的多输入压力表，与皮拉尼压力表组合使用，或与皮拉尼压力表和大气压力传感器组合使用。

模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E 独立模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E + SWU10-R 组合模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E + SWU10-R + SAU 组合模式
测量压力范围	1.0 × 10⁻⁵至1.0 × 10⁺¹ Pa	1.0 × 10⁻⁵至1.0 × 10⁺⁵ Pa	1.0 × 10⁻⁵至1.0 × 10⁺⁵ Pa
测量精度	1.0×10 -4 ~3.0×10 +0 Pa： ±10%	1.0×10 -4～1.0×10 +4 Pa：±10% 1.0×10 +4～1.0×10 +5 Pa：±20%	1.0×10 -4 ~1.0×10 +4 Pa: ±10% 1.0×10 +4 ~3.0×10 +5 Pa: ±3%FS (3.0×10 +3 Pa・参考温度 25℃)
连接图像
测量压力范围图像	当需要检查“大气压力"时，例如打开舱室时，会使用三联表。

PC/智能手机连接图像

应用软件“UL-MOBI"

适用于个人电脑	请点击此处从ULVAC SHOWCASE（网站）下载。
适用于智能手机	从 Google Play 下载

兼容设备

个人电脑	Windows 10 64 位或更高版本
手机	Android 6 或更高版本，USB Type-C

订单代码

*如需其他组合，请联系您的零售商。

主机	测量探头类型	安装类型	订单代码
ST200-A（模拟输出规格）	SWT-16	NW16	210006964600
	SWT-25	NW25	210006964700
	SWT-16（带挡板）	NW16	210006964800
	SWT-25（带挡板）	NW25	210006964900
	没有测量探头	-	210006965000
ST200-A + Pirani SWU10-R 组合 （5米单元电缆）	SWT-16/SWP-16	NW16/NW16	210006969000
	SWT-25/SWP-25	NW25/NW25	210006969100
	SWT-16（带挡板）/ SWP-16	NW16/NW16	210006969200
	SWT-25（带挡板）/ SWP-25	NW25/NW25	210006969300
ST200-R（串行通信规范）	SWT-16	NW16	210006965100
	SWT-25	NW25	210006965200
	SWT-16（带挡板）	NW16	210006965300
	SWT-25（带挡板）	NW25	210006965400
	没有测量探头	-	210006965500