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ULVAC爱发科 皮拉尼真空计
产品简介：

ULVAC爱发科 皮拉尼真空计
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号：SP1

更新时间：2026-06-08

厂商性质：经销商

访问量：8

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ULVAC爱发科 皮拉尼真空计
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计

SP1 传感器单元是一款传感器式皮拉尼真空计，其测量探头和电路集成在一个单元中，从而节省成本并提高空间利用率。

    特征

    • 可降低成本并节省空间的传感器类型。

    • 铂金具有优异的耐腐蚀性，因此被用作灯丝材料。

    • 设定点输出：2 点；检测器输出：直流 0-5V（非线性输出）

    • 电源电压：直流24V输入

    目的

    • 用于各种制造设备（包括半导体和电子元件）的低真空范围内的过程控制。

    • 用于各种工业设备（包括熔炉）低真空区域的过程控制。

    • 适用于具有多个工艺腔室的各种制造设备的低真空工艺控制，例如在线式和单晶圆系统。

    类型传感器单元
    模型SP1
    自适应测量元件WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

    测量精度


    		±15%（51帕至760帕）
    ±30%（10 Pa 至 1000 Pa）
    ±50%（0.4 Pa 至 3000 Pa）
    工作温度范围10-40℃
    采样时间50毫秒，5步移动平均处理

    测量输出


    		非线性输出：直流 0-5V（最大 10V）
    （更新时间）50毫秒
    （分辨率）10 mV
    设定点 1/2 调节输出非线性输出：直流 0-5V（最大 10V）
    控制输出电压开放式集线器，负逻辑
    错误信号
    设定点 1/2
    LED显示屏功率、误差、设定点 1/2
    电源电压直流 24V ± 2V，90mA（最大值）
    输入/输出连接器D-sub-15P（M2.6 螺丝）
    体重190克（不含测量探针）

    配件

    		输入/输出连接器套装（1套）
    快速手册（1份）

    I/O、模拟地线和电源地线未隔离。

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