ULVAC爱发科 油旋式真空泵 型号：PKS
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 通过去除油烟和油滴
  ，大大减少了因泵油飞溅造成的消耗，并显著减少了补充泵油的需求。

• 本产品具有好的降噪性能，
  尤其适用于泵在常压启动、低真空运行或气体镇流等工况下的运行，对低频噪音的抑制效果尤为显著。

• 您可以选择油回收方式（可选）。
  如果在使用过程中残留在设备内的油，会缩短过滤器的使用寿命并导致水泵故障。根据水泵的运行情况，您可以选择相应的油回收功能。

• 易于连接泵
  ：该型号“M-2(F)"的连接端口与标准适用泵的排气端口相匹配，安装简便。（将M-2(F)连接到油旋式真空泵VD60C和VD90C时需要使用适配器。）

• 内置过滤器
  便于更换筒式内置过滤器。
  （用筒式过滤器替换 TM-3、TM-4 和 TM-4S 的旧过滤器时需要使用适配器。）

*1 务必使用与泵的排气量相匹配的油雾捕集器。

*2 将油旋真空泵“型号：PVD"连接到 GLD-280A 需要适配器。

*3 TMX-1 不提供油回收功能作为可选配置。

*4 TMX-1 和 TM-2（老款）不能安装筒式过滤器。

规格

*1 泵侧安装法兰：JIS B2290 真空法兰（特殊法兰除外）/排气侧管螺纹直径

*2 在 PVD-180(B)、PVD-360(B)、GLD-280A、VD60C 和 VD90C 上安装时需要适配器。

*3 标准型：伞形，F 型：法兰型。

*4 括号内的质量是连接法兰时的质量。

*5 对于低负荷应用，连续吸气压力应约为 10kPa 或更低。

*6 对于高负荷应用，连续吸气压力应约为 100kPa 或更低。