ULVAC爱发科 油封式旋转真空泵VD Ver.C
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 高吸力压力连续运行，能够反复向大气真空中排气。

• 采用油泵强制润滑系统。

• 采用液压油防回流装置
  ：本机配备液压油防回流装置，可最大限度地减少油液回流至油缸，并降低泵重启时的负载。因此，您可以放心使用，无需担心因意外断电或在未将进气侧恢复至大气压的情况下停止真空泵而导致泵油回流至油缸，从而造成重启困难等问题。

• 该泵在设计时充分考虑了维护性，
  配备了便于加油的大尺寸油盖、可从多个方向检查油位的油位计以及方便更换机油。此外，其结构设计使得在泵的检修或维修过程中，无需拆卸电机线路或进水管道即可进行维护。

• 本产品符合CE和cTUVus标准。符合
  CE标准，可在欧盟国家和欧洲经济区使用。同时，它也符合cTUVus标准，确保在北美安全使用。

• ULVAC采用其自主研发的高效（IE3
  ）多电压电机。日本的电机生产已标准化为高效（ IE3 ）电机，进口电机也受IE3标准的约束。此外，中国已实施《能效标识实施条例》，现行标准已修订为GB3 （GB18613-2012 ）。符合这些能效标准的电机均由ULVAC集团公司生产，并安装于我们的车辆中。

目的

• 气相沉积设备、溅射设备、离子镀设备

• 分析仪器和泄漏测试设备

• 气体置换和液体喷射

• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、真空隔热

• 真空吸附/真空成型

• 其他各种真空装置

规格

注：本规格采用硅（SI）单位制。换算为非硅单位制如下：
　　6.7 Pa = 5 × ^10⁻² Torr *1 使用皮拉尼真空计测量。（
使用麦克劳德真空计测量约为 6.7 × ^10⁻² Pa 。）
*2 VD90C 不能在高于 1,000 Pa 的压力下连续运行。
　 连续运行期间的最大处理能力为 1,000 (Pa) / 600 (g/h)。
*3 出厂时配置为 200V 电压等级的 Δ 连接。
　 如果您的电压等级为 400V，请在使用前将其更改为 Y 连接。

选项

特殊用途主机选项

其他选项

*1 持续高负荷运行可能导致泵温度超过100℃，超过丁腈橡胶（NBR）的耐热极限。选择N型或B型时请务必谨慎。
*2 当排放乙二醇类气体或液体（这些气体或液体会腐蚀氟橡胶FKM）时，请选择此型号。
*3 装配检验将使用氟油进行，但氟油不包含在产品中。如有需要，请另行购买。
*4 标准型、N型、B型和H型均包含R-72润滑油。其他可选润滑油需另行购买。

配件

根据油雾捕集
器泵的类型和运行条件，所使用的油雾捕集器的类型也会有所不同

*高负荷运行是指在短时间内反复在大气和真空条件之间进行排气，或者在 10,000 Pa 或更高的压力下长时间运行。

为防止因油滤
粉尘、油泥等造成的油品劣化，我们建议同时使用油品清洁剂和油水分离器。

其他产品
：气体镇流阀
、ISO法兰
、油回收装置。

排气速度曲线

尺寸图