ULVAC爱发科 往复式活塞干式真空泵
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 体积小巧，排量大。

• 一种在气体接触区域不使用油的干式真空泵。

• 多种选择，满足您的不同需求。

• 内置自复位热保护器的安全设计。

• 它可以在大气压下运行。

• 在所有压力范围内均可连续运行。

• 结构简单，易于维护。

规格

支持的标准/电压

●：标配，○：可选，－：不可用
*TUV认证：经国际第三方产品安全测试和认证机构评估，符合欧洲标准的高品质产品。
*cTUVus认证：经国际第三方产品安全测试和认证机构评估，符合加拿大和美国标准的高品质产品。

使用注意事项

1. 如果在负载运行期间停止水泵，然后立即重新启动，水泵可能无法启动。在这种情况下，请将水泵内部压力恢复到大气压。

2. 切勿吸入腐蚀性气体、有机溶剂、液体或可冷凝气体（例如水蒸气）。此外，还要防止污垢、灰尘等进入泵内。

3. 泵的滑动部件——杯形填料，在运行过程中会磨损，产生磨损颗粒。此外，该滑动部件易受潮，若吸入水分，会加速磨损，缩短使用寿命。切勿吸入水分或可凝结气体（例如水蒸气）。

4. 本水泵仅限室内使用。请勿将其安装在可能被雨水或水浸到的地方，或室外。

5. 将泵固定到设备或其他装置上时，务必安装减震橡胶垫。减震橡胶垫的安装螺钉尺寸为 M6 x P1.0。

尺寸图

DOP-181SA/SB

DOP-181SC/SD

DOP-181SE

排气速度曲线