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产品中心ULVAC 爱发科 代理品牌LR600ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 LR系列
产品型号：LR600
更新时间：2026-06-06
厂商性质：经销商
访问量：27
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ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 LR系列
ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 LR系列
除了适用于低温范围内的均质化 PVD 工艺（型号：LR）外
，它还非常适合用于充放电室的排气，其中减少排气时间对于提高吞吐量尤为重要。
它配备了氦气密封
罐式电机，其密封结构使其极其安全。
我们已采取措施防止出现持续时间不超过 1000 毫秒的瞬时断电。
优秀的耐腐蚀性
：关键部件均采用特殊表面处理工艺，具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性。这可有效减少泵在排出腐蚀性气体时的内部腐蚀。
通信功能
允许您读取与泵的运行状态和警告/报警历史记录相关的数据。借助专用软件，可以通过计算机通信实现集中监控。
薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）
缩短准备和移除室的排气时间。
作为辅助排气泵（用于涡轮分子泵和机械增压泵）
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大排气速度 | 50赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 极限压力 | 5.0 帕 | ||||||
| 最大进气压力（进气压力） | 气压 | ||||||
| 最大排气压力（排放压力） | 1帕 ≈ 大气压 | ||||||
| 进气口（CE规范） | VG50 (KF50) | VG80 (KF50) | VG100 | ||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | |||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | ||
| 电力 *1 | 三相 | 交流电（赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 当前值 | 稳定状态 | 一个 | 6.9（200V时） | 11.2（200V时） | 18.9（200V时） | 20.8（200V时） | |
| 最大值 | 一个 | 7.3（200V时） | 11.8（200V时） | 20.6（200V时） | 48.5（200V时） | ||
| 冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水进/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| N2吹扫 | 轴 | 空间光调制 | 5 | ||||
| 加斯巴拉 | 空间光调制 | 0-45 | 没有任何 | 0-45 | |||
*1 请在订购时注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 泵 | DRP | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | ||
| 最大排气速度 | 50赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时（ 升/分钟） | 365 (6,080) | 701 （11,700） | 10.51亿 （17500） | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67 帕 | |||||||||
| 最大进气压力（进气压力） | 气压 | |||||||||
| 最大排气压力（排放压力） | 1帕 ≈ 大气压 | |||||||||
| 进气口（CE规范） | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | ||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面处理 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | 〇 *2 | × | T:× TT:× | × | TR：× TTR：○ | ||
| 大量的 | 公斤 | 275 | 370 | 420 | 545 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力 *3 | 三相 | 交流电（赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 当前值 | 稳定状态 | 一个 | 7.0 （200V时） | 12.3 （200V时） | 13.7 （200V时） | 21.4 （200V时） | 31.0（200V时） 20.5（400V时） | 35.4（200V时） 20.5（400V时） | ||
| 最大值 | 一个 | 9.6 （200V时） | 19.0 （200V时） | 24.2 （200V时） | 39.8 （200V时） | 58.4（200V时） 40.5（400V时） | 82.0（200V时） 40.5（400V时） | |||
| 冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水进/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| N2吹扫 | 轴 | 空间光调制 | 5 | |||||||
| 加斯巴拉 | 空间光调制 | 0-45 | 无 *4 | 0-45 | 无 *4 | 0-45 | ||||
*2 适用于 LR300、LR600、LR1200 和 LR1800 的 MBP 型号可选择表面处理或不表面处理。
*3 订购时请注明。
*4 根据具体应用，我们还可以提供可使用管的规格报价。
■消音器
| 模型 | 材料 | 表面 处理 | 大量的 | 连接法兰 | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | LR 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T |
| RS-01 + 套件 A | SUS 304 | GBB 处理 | 4.1 公斤 | KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
| RS-01 + 套件 B | KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + 套件 A | 8.3 公斤 | KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
| RS-02 + 套件 B | KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + 套件 A | 抛光板 | 12.5 公斤 | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
| RS-03 + Kit B | - | - | - | - | 〇 | - | - | - | - | - |
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