ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 RS
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 该产品有助于节能
  ，可将干式真空泵的能耗降低高达 80%（与我们之前的型号相比）
  。它还能抑制干式泵的发热，从而降低空调设备的能耗。
  　*不可用于排放易燃、助燃或有毒气体的泵。

• 干式泵性能得到提升；
  高压范围扩大；
  排气噪音降低；
  在整个压力范围内排气速度不下降；
  在低于 1000 Pa 的频繁连续运行应用中非常有效
  　；可安装在排气口可以轻松排空的干式泵上。

• 易于安装

目的

• 干式真空泵用于排出惰性气体，例如空气、氮气和氩气。

• 用于溅射和其他工艺的制备和移除腔室的干式真空泵。

规格

*1：干泵运行工艺气体，吹扫气体流量为 0 Pam3/s。
*2：手动启动/停止 ES4A 时，
　　可通过短接控制连接器上的引脚来开启/关闭电路保护器。
*3：ES10 标配阀门单元。

效果示例

ES4A

*1 电源频率 60 Hz
*2 密封气体 5 SLM
*3 包含 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
*4 测量示例：300L 腔室，60 秒循环重复排气

ES10

*1 电源频率 60Hz
*2 功耗为极限压力下的典型值
*3 包括 ECO-SHOCK 的功耗
*4 当密封气体和主体气体的流量为 0 Pa・m3/s 时。根据密封气体和主体气体的流量而变化。

尺寸图

阀单元外部视图

ES4A NW40	ES4A NW50
ES10