18825222238

PRODUCT CENTER

产品中心

当前位置:首页产品中心ULVAC 爱发科 代理品牌ES4A NW40ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵

ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵
产品简介:

ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 RS
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:ES4A NW40

更新时间:2026-06-06

厂商性质:经销商

访问量:22

服务热线

立即咨询
产品介绍

ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 RS
ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 RS
“型号:ECO-SHOCK"是一款革命性的附件,安装在您现有的干式真空泵上时,可显著节省干式泵的能源。


    特征

    • 该产品有助于节能
      ,可将干式真空泵的能耗降低高达 80%(与我们之前的型号相比)
      。它还能抑制干式泵的发热,从而降低空调设备的能耗。
       *不可用于排放易燃、助燃或有毒气体的泵。

    • 干式泵性能得到提升;
      高压范围扩大;
      排气噪音降低;
      在整个压力范围内排气速度不下降;
      在低于 1000 Pa 的频繁连续运行应用中非常有效
       ;可安装在排气口可以轻松排空的干式泵上。

    • 易于安装

    目的

    • 干式真空泵用于排出惰性气体,例如空气、氮气和氩气。

    • 用于溅射和其他工艺的制备和移除腔室的干式真空泵。

    规格

    模型ES10ES4A
    电源规格单相交流电 100V-220V 50/60Hz单相交流电 200V~220V ±5% 50/60Hz
    功耗65瓦 *1400瓦
    控制输入远程启动/停止(接触直流24V电压):请准备一个触点容量为2.0A或以上的干接点。*2
    输出过流报警输出(触点,无电压)
    触点容量:DC24V 1.0A
    启动确认、节能确认、主机报警、
    过流报警
    展示显示驾驶时间运行时间、启动确认、节能确认、
    主机报警、过流报警
    外部尺寸主机175毫米 x 330毫米 x 240毫米250毫米 x 475毫米 x 373毫米
    阀单元Φ66mm x 110mm (NW40) *3这是可选的附加项目。
    大量的主机:9.2公斤;阀门单元:800克32公斤
    联系连接端口G1/4"(进水口、出水口)
    连接器已预装。
    Φ16mm管接头
    (建议长度不超过1.5米)

    *1:干泵运行工艺气体,吹扫气体流量为 0 Pam3/s。
    *2:手动启动/停止 ES4A 时,
      可通过短接控制连接器上的引脚来开启/关闭电路保护器。
    *3:ES10 标配阀门单元。


    效果示例

    ES4A

    我们的泵型号LR1800LR3601-R
    排气速度*1机械增压泵1784 立方米/小时(29700 升/分钟)3200 立方米/小时(53333 升/分钟)
    干泵237 立方米/小时(3950 升/分钟)440 立方米/小时(7333 升/分钟)
    平均功耗
    *2 *3
    在极限压力下运行没有任何6.0千瓦7.8千瓦
    包含 ES4A 时2.7千瓦3.2千瓦
    降低率55%59%
    反复排气期间*4没有任何7.2千瓦9.6千瓦
    包含 ES4A 时5.7千瓦6.3千瓦
    降低率21 %34%

    *1 电源频率 60 Hz
    *2 密封气体 5 SLM
    *3 包含 ECO-SHOCK ES4A 的功耗
    *4 测量示例:300L 腔室,60 秒循环重复排气


    ES10

    型号名称LR60LR90LR180
    排气速度*11300 升/分钟2100 升/分钟3980 升/分钟
    实际测量功耗*22.1千瓦3.6千瓦6.6千瓦
    连接ECO-SHOCK时的实际功耗*3 *40.7千瓦1.0千瓦1.6千瓦
    功率降低率67%72%76%

    *1 电源频率 60Hz
    *2 功耗为极限压力下的典型值
    *3 包括 ECO-SHOCK 的功耗

    *4 当密封气体和主体气体的流量为 0 Pa・m3/s 时。根据密封气体和主体气体的流量而变化。



    尺寸图

    ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵


    阀单元外部视图

    • ES4A NW40ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵

    • ES4A NW50ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵

    • ES10

    ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵





    在线留言

    ONLINE MESSAGE

    留言框

    • 产品:

    • 您的单位:

    • 您的姓名:

    • 联系电话:

    • 常用邮箱:

    • 省份:

    • 详细地址:

    • 补充说明:

    • 验证码:

      请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
    联系方式

    (全国服务热线)

    深圳市龙华区龙华街道松和社区汇食街一巷7号3层

    wl@tamasaki.com

    扫码加微信

    Copyright © 2026玉崎半导体(深圳)有限公司 All Rights Reserved   工信部备案号:粤ICP备2026042622号

    技术支持:化工仪器网   管理登录   sitemap.xml

    关注

    联系
    联系
    顶部