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ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列
产品简介:

ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:GR180

更新时间:2026-06-06

厂商性质:经销商

访问量:26

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产品介绍


ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列
ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列


特征

  • 适用于高负荷应用,例如从大气压到真空的反复排气以及在高压区域连续运行。

  • 非常适合用于需要高吞吐量的装卸货室(包装和拆包室)。

  • 与通用感应电机兼容

  • 可安装防爆电机等特殊电机(可选)。

  • 采用多电压兼容电机。

目的

  • 真空抽取洁净气体,例如空气和惰性气体。

  • 各种薄膜沉积设备的装卸室的废气。

  • 一般工业应用,例如真空干燥、真空气体置换和真空脱气。

  • 真空绝缘和气体填充等。

规格

模型GR60AGR90AGR180A
最大排气速度 50赫兹立方米/小时(升/分钟62(1030112(1860 年183(3100)
60赫兹立方米/小时(升/分钟80(1333)126(2100)237(3850)
极限压力*1宾夕法尼亚州5.0
最大进气压力
气压
最大排气压力宾夕法尼亚州1 ~ 大气压
进气口VG50VG80
排气口西北40
DRP表面处理
发动机输出功率 [kW]2.23.77.5
电压 [V]50赫兹200~240/380~415
60赫兹200~240/380~460
大量的公斤128188268
冷却方法
一次冷却水供应压力
兆帕0.1~0.3
冷却水
进/出口压差
兆帕>0.1
冷却水温度10-30 *2
冷却水流量升/分钟>5.0
氮气主供气压力兆帕0.1~0.5
二次侧
调节压力*3
兆帕0.05~0.1(运行期间)
空间光调制5.0 *4

*1 可达到的压力值是指氮气(轴封气体)流量为 5.0 SLM 时的压力值。
*2 无冷凝现象。
*3 这是由调节器调节后的压力表读数。
*4 氮气(轴封气体)流量固定为 5.0 SLM。




配件

模型材料表面处理质量(千克)连接
法兰
GR60AGR90AGR180A
消音器RS-01+
套件 A
SUS304GBB处理4.1KF40-
RS-02+
套件 C
SUS304GBB处理8.3KF40--




排气曲线

ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列




尺寸图

  • GR60ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列

  • GR90AULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列

  • GR180ULVAC爱发科 多级罗茨式干式真空泵 GR系列




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