ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵 LS系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

特征

• 在接近大气压下，抽气速度可达 80^立方米/小时，与传统真空泵相比，抽气时间缩短了约 20%。

• 标配的专用消音器消除了干式真空泵固有的噪音问题。在极限压力下，噪音水平为 61 dB(A) 或更低，即使在运行过程中也难以察觉。(*1)

• ECO-SHOCK 技术是 ULVAC 的专有节能技术，也是 C 型规格的标准配置。该技术可在极限压力下将功耗降低至 0.6kW 或更低。(*2)

• “型号：LS"无需轴封气体。这降低了主要使用氮气或空气等废气的清洁工艺的运行成本。(*3)

• 对于那些希望进一步提高排气速度的用户，我们建议将其与机械增压泵配合使用。通过这种组合，排气速度可以达到120 至1200^{立方米/小时。}

（*1）对于 LS120A-C 型号，　
（*2）对于 C 规格型号，　
（*3）对于 L 规格型号，也可以通入吹扫气体。

目的

C 规格：清洁工艺 (LS***AC)
　特点：低功耗型，内置 ECO-SHOCK
　应用：适用于清洁排气，如空气排气和 N2_排气，溅射/沉积/键合/装载锁定室/TMP 支持等。

L 规格：轻工艺 (LS***AL)
　特点：轻工艺类型，具有表面处理和吹扫功能
　应用：适用于轻工艺，例如水蒸气和挥发性化学品的排出、真空干燥/冷冻干燥/灰化/一般工业应用等。

规格

排气速度曲线

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

尺寸图