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ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列
产品简介:

ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:MS120A

更新时间:2026-06-06

厂商性质:经销商

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产品介绍

ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

MS型真空泵属于螺杆式干式真空泵。它在传统的LS型真空泵基础上进行了改进,提高了耐腐蚀性和粉末排出能力,是一款耐腐蚀性更强的干式真空泵。该泵专为涉及腐蚀性气体和粉末排放的真空工艺而设计。

  • ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

    MS120A

  • ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

    MS600A

  • ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

    MS1200A

特征

  • 通过对转子轴和气缸等关键部件进行特殊表面处理,可以实现高耐腐蚀性。

  • 螺旋式转子轴与ULVAC的独特设计相结合,实现了高粉末排出效率。

  • 从大气压到目标压力,整个压力范围内均可连续运行。

目的


  • 用于电子元件和半导体制造设备、蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备的真空抽气系统。

  • 真空热处理炉、真空排气系统
    、烧结炉、渗碳炉等。

  • 锂电池制造设备用真空排气系统、
    电极干燥设备、脱气设备、液体注入设备等。

  • 医疗和食品相关设备、
    冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。


*MS1200A另有配备额外控制板和传感器的单独版本可供选择。

规格

模型MS120AMS600AMS1200A
最大排气速度*1立方米/小时115560980
极限压力宾夕法尼亚州≤0.6≤0.1
电源电压三相,50/60Hz,AC200-240V±10% 或 三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
大约功耗*2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
吹扫气体体积*1空间光调制0-50
最大蒸汽处理能力
*1*3
公斤/小时1.5
噪音等级 *2分贝(A)616264
进气口KF50(水平)/ VG50(垂直)ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量*4公斤139241264
适用标准CE、cTUVus
标准配件快速手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器保护罩和专用消音器套装。
主机选项电源电压:200V 或 400V 级;
密封材料:氟橡胶 (FKM) 或全氟橡胶 (FFKM)
外部选项外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀

*1:典型值
*2:极限压力下的值
*3:使用吹扫气体时的最大水蒸气处理能力
*4:包含消音器


排气速度曲线

  • MS120A
    ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

  • MS600A
    ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

  • MS1200A
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尺寸图

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