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ULVAC 爱发科 代理品牌
MS120AULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列

产品型号:MS120A
更新时间:2026-06-06
厂商性质:经销商
访问量:24
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ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列ULVAC爱发科 螺杆式干式真空泵MS系列
MS型真空泵属于螺杆式干式真空泵。它在传统的LS型真空泵基础上进行了改进,提高了耐腐蚀性和粉末排出能力,是一款耐腐蚀性更强的干式真空泵。该泵专为涉及腐蚀性气体和粉末排放的真空工艺而设计。

MS120A

MS600A

MS1200A
通过对转子轴和气缸等关键部件进行特殊表面处理,可以实现高耐腐蚀性。
螺旋式转子轴与ULVAC的独特设计相结合,实现了高粉末排出效率。
从大气压到目标压力,整个压力范围内均可连续运行。
用于电子元件和半导体制造设备、蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备的真空抽气系统。
真空热处理炉、真空排气系统
、烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备用真空排气系统、
电极干燥设备、脱气设备、液体注入设备等。
医疗和食品相关设备、
冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。
*MS1200A另有配备额外控制板和传感器的单独版本可供选择。
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排气速度*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 宾夕法尼亚州 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 电源电压 | 三相,50/60Hz,AC200-240V±10% 或 三相,50/60Hz,AC380-480V±10% | |||
| 大约功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体体积*1 | 空间光调制 | 0-50 | ||
| 最大蒸汽处理能力 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音等级 *2 | 分贝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 适用标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速手册、电源连接器、防水电缆夹、信号连接器、电源连接器保护罩和专用消音器套装。 | |||
| 主机选项 | 电源电压:200V 或 400V 级; 密封材料:氟橡胶 (FKM) 或全氟橡胶 (FFKM) | |||
| 外部选项 | 外壳排气口、抗震固定支架、LR兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀 | |||
*1:典型值
*2:极限压力下的值
*3:使用吹扫气体时的最大水蒸气处理能力
*4:包含消音器
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