一、基础信息

• 品牌：DIC 迪爱生（日本）

• 型号：DF-20-1μm

• 产品类型：PTFE 聚四氟乙烯折叠式精密过滤芯（5 英寸）

• 定位：半导体、面板、电子化学品、光刻药液、超纯水终端除菌过滤，耐强酸强碱、有机溶剂，适配 HF、HCl、蚀刻液、剥离液等高腐蚀精密工艺，0.2μm 除菌级绝对精度

二、型号含义

• DF：DIC Fluorine filter，氟树脂（PTFE）精密折叠滤芯系列

• 05：滤芯长度 5 英寸（小型标准款，适配小型过滤器壳体）

• 0.2μm：绝对过滤精度 0.2 微米，可截留细菌、微颗粒、胶体杂质，实现除菌过滤

三、核心结构与优势

1. 全 PTFE 接液材质：滤膜、支撑骨架、端盖、密封圈全部为聚四氟乙烯，耐HF、盐酸 HCl、强酸强碱、有机溶剂、光刻胶、IPA，化学兼容性强

2. 折叠式结构：超大过滤面积、低压损、大通量，纳污能力优异，使用寿命长

3. 热熔焊接工艺：无粘合剂、无析出、无纤维脱落，满足半导体超高纯洁净要求

4. 疏水型 PTFE 膜：可用于液体 + 气体双向过滤，适配药液、超纯水、高纯气体

5. 出厂 100% 完整性测试，精度稳定，适配 24h 连续精密工艺

四、接液部材质

• 滤膜：疏水 PTFE 聚四氟乙烯膜

• 支撑层 / 中心杆 / 外壳：PTFE

• 密封圈：FFKM 全氟橡胶（耐全化学品腐蚀）

• 接口：226/222 插入式，适配标准小型滤壳

五、关键技术参数

• 过滤精度：绝对精度 0.2μm（除菌级）

• 长度：5 英寸

• 最大工作压力：0.4 MPa

• 工作温度：5–80 ℃

• 适用流体：液体 / 气体通用

• 可耐受：HF、HCl、H₂SO₄、NaOH、有机溶剂、光刻药液、超纯水

六、适用介质

七、典型应用

1. 半导体 / SiC 第三代半导体 HF/HCl 蚀刻药液终端过滤、除菌除颗粒

2. 面板行业光刻胶、涂布液、精密化学品精密过滤

3. 超纯水系统终端除菌、气体管路杂质过滤

4. 小型化学供液系统、实验室精密药液过滤