一、基础信息

• 品牌：DIC 迪爱生（日本）

• 系列：PF‑F（F‑氟树脂型）

• 产品类型：全氟树脂中空纤维膜脱气模组（内部灌流式）

• 定位：强腐蚀性药液、有机溶剂专用脱气 / 脱泡，半导体、面板、光刻、喷墨精密工艺专用，可耐受强酸、强碱、有机溶剂

区分：PF‑D 为纯水通用型（聚烯烃膜）；PF‑F 为耐化学腐蚀型（PTFE 全氟膜）

二、型号含义

• PF：内部灌流结构（液体走中空纤维管内，真空在管外）

• F：Fluorine 氟树脂材质，全接液 PTFE / 全氟材料，耐强腐蚀

• 数字：流量规格（03F/05F/10F/13F/28F）

三、核心结构与优势

1. 全氟树脂接液：膜材为PTFE（聚四氟乙烯），外壳、密封件均为氟树脂，耐 HCl、HF、强酸强碱、各类有机溶剂、光刻胶、稀释剂、剥离液

2. 内部灌流结构，不易堵塞，支持反向清洗，长期稳定运行

3. 在线连续脱气，去除溶解氧、氮气、气泡，防止气堵、喷头堵塞、涂布缺陷

4. 低压损、结构紧凑，可直接串联在工艺管路

5. 同时支持 ** 脱气 + 气体溶解（供气）** 两用

四、接液材质

• 中空纤维膜：PTFE 聚四氟乙烯

• 外壳 / 密封：全氟树脂

• 无金属部件，适配强腐蚀化学药液

五、常用型号与技术参数

• 液体侧接口：1/4 超级柱接头

• 真空侧接口：Rc1/8 内螺纹

六、适用介质

• 强酸、强碱、 HF、盐酸 HCl、各类蚀刻液、显影液、剥离液

• 光刻胶、稀释剂、IPA、有机溶剂、化学试剂

• 喷墨墨水、精密分析试剂

七、典型应用

1. 半导体 / 面板：光刻胶、稀释剂、蚀刻药液脱气，提升涂布、曝光良率

2. 精密电子清洗、化学供液系统脱泡

3. 溶剂型喷墨打印，防止喷头堵塞

4. 实验室精密化学分析、在线脱气