一、基础信息

• 型号：FR‑H2‑6.35

• 类型：氢气专用精密减压阀（高压氢气专用调压阀）

• 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：高压氢气 / 半导体 SiC 产线、氢能系统专用减压阀，抗氢脆、高洁净、稳压精准

二、型号释义

• FR：FUJIKIN Regulator 精密减压阀

• H2：氢气专用规格，阀体、膜片、弹簧全部抗氢脆材质优化

• 6.35：接管通径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心特点

1. 全组件抗氢脆设计，膜片、弹簧、阀芯采用镍基 / 哈氏合金，适配高压 H₂长期使用

2. 超高纯 UHP 洁净结构，低死区、低颗粒、低金属析出，满足半导体先进制程

3. 稳压精度高，出口压力稳定，抗入口压力波动

4. 紧凑型 VCR 结构，适配特气柜、气体面板、高压氢气支路

5. 可用于高纯氢气、腐蚀性氢气混合气

四、接液材质

• 阀体：SUS316L 高压级不锈钢，EP 电解抛光

• 膜片：哈氏合金 C‑22 / Inconel 625（抗氢脆）

• 阀芯 / 阀座：SUS316L + PCTFE

• 接口：1/4" VCR 高压型

五、技术参数

• 最高入口压力：20.5 MPa（高压氢气专用）

• 出口调压范围：0–0.4 MPa（标准，可定制）

• 稳压精度：±1% FS

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 调节方式：顶部旋钮调节，带锁定

• 适用介质：高压 H₂、高纯 H₂、H₂+ 腐蚀性特气

六、应用场景

1. SiC/GaN 第三代半导体高压氢气供气稳压

2. 半导体特气柜氢气支路二级减压

3. 氢能测试系统、高压储氢管路调压

4. 高压氢气 MFC 前端稳压保护