一、基础信息

• 型号：FR‑71‑6.35

• 产品类型：71 系列 UHP 高纯减压阀（精密调压阀）

• 接口通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：半导体超高纯气路一级 / 二级精密减压稳压，用于特气柜、气体面板、MFC 前端稳压，适配 SiC/GaN、ALD、刻蚀精密工艺

二、型号释义

• FR：FUJIKIN Regulator 精密减压阀

• 71：71 系列标准阀体，VCR 接口、低死区、UHP 超高纯洁净结构

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构特点

1. 膜片式精密调压结构，稳压精度高，输出压力稳定，不受入口压力波动影响

2. 全金属接液，低死区、低发尘、低金属析出，气置换

3. 膜片为哈氏合金材质，耐 HCl、HI、HF、WF₆等强腐蚀特气

4. 紧凑型 VCR 直连结构，适配气体面板高密度安装

5. 可实现高压转低压，保护后端阀门、MFC、传感器

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 膜片：哈氏合金 C‑22

• 阀芯 / 阀座：SUS316L + PCTFE 软密封

• 接口：1/4" VCR 公母头

五、关键技术参数

• 入口压力：最高 1.0 MPa

• 出口调压范围：常规 0–0.4 MPa（可按需求选量程）

• 稳压精度：±1% FS

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 泄漏等级：阀座零泄漏，外漏极低

• 调节方式：顶部手动旋钮调节，带锁定结构

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. 特气柜二级减压、气体面板支路稳压

2. MFC 质量流量控制器前端压力稳定

3. ALD、刻蚀、CVD 设备精密供气稳压

4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺气路