一、基础信息

• 型号：PUH‑913P‑6.35‑V

• 系列：913P 系列 高压气动波纹管阀

• 驱动方式：气动（气控开关）

• 接口通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：高压氢气、高压特气自动化控制，半导体高压管路、氢能系统、SiC 高压工艺专用，零外漏、高安全等级

二、型号释义

• PUH：Pneumatic Ultra‑high Pressure Bellows Valve 气动超高压波纹管阀

• 913P：913P 高压阀体系列，专为 20.5 MPa 高压工况设计

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

• V：VCR 接口形式

三、核心结构特点

1. 全金属波纹管焊接密封，无填料，真正零外泄漏，适配高压氢气、自燃 / 剧毒气体，杜绝介质外泄

2. 加厚锻造高压阀体，抗氢脆、抗高压冲击，稳定耐受 20.5 MPa 长期工况

3. 气动自动启闭，可远程 PLC / 电磁阀控制，适配自动化高压气路

4. 低死区 UHP 超纯洁净流道，低颗粒、低金属析出，满足半导体严苛要求

5. 紧凑型结构，适合高压面板密集布局

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L 高压级不锈钢，EP 电解抛光

• 波纹管：哈氏合金 C‑22 / Inconel 625，耐氢脆、耐 HCl、HI、HF、WF₆强腐蚀

• 阀座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 高压型接头

五、关键技术参数

• 最高使用压力：20.5 MPa（205 bar）

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 控制气源：0.4–0.6 MPa

• 动作形式：默认常闭 NC（通气开启，断气关闭）

• Cv 值：0.28

• 泄漏：阀座零泄漏；外漏 ≤1×10⁻¹² Pa・m³/s

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. 半导体 / SiC 第三代半导体高压氢气自动化供气阀

2. 高压特气柜、大宗高压气体远程开关控制

3. 氢能设备、高压储氢系统自动化管路

4. 高真空‑高压切换工况自动化隔离