一、基础信息

• 型号：FUCL‑715‑6.35‑0.023

• 产品类型：固定孔板限流阀（流量限制器 / 孔板节流阀）

• 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

• 系列：FUCL‑715 系列 UHP 高纯精密限流元件

• 定位：半导体气路固定流量限流，精准限制最大流量、防止流量过载、保护 MFC / 阀门、稳定吹扫流量，用于特气柜、刻蚀 / ALD、SiC 精密工艺

二、型号含义

• FUCL：FUJIKIN Fixed Orifice Choke 固定孔板限流阀

• 715：715 紧凑型阀体系列，VCR 接口、低死区设计

• 6.35：接管通径 6.35 mm（1/4"）

• 0.023：孔径规格 0.023 mm，极小流量孔板，微量限流专用

三、核心结构特点

1. 精密硬质合金固定微孔，孔径恒定，流量不可调、稳定可靠

2. 整体阀体低死区，气置换干净，低发尘、低金属析出

3. 结构简单无活动部件，无泄漏风险、寿命极长，免维护

4. 耐强腐蚀、抗高压冲击，适配 HCl、HI、HF、WF₆等腐蚀性特气

5. VCR 直插式，面板安装便捷

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光，可选 UP 超抛光

• 限流孔板：碳化钨 / 硬质合金，耐磨、耐化学腐蚀、尺寸稳定

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公母一体

五、关键技术参数

• 孔板孔径：0.023 mm（超微量限流）

• 最高工作压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 流量特性：在固定压差下输出恒定流量

• 流向：单向限流，按阀体箭头方向安装

• 洁净等级：满足 12 寸晶圆、SiC/GaN 优良制程要求

六、适用介质与应用场景

适用气体

典型应用

1. ALD、刻蚀设备微量吹扫固定流量控制

2. MFC 保护，防止瞬间大流量冲击

3. 特气柜旁路限流、泄压回路流量限制

4. SiC 第三代半导体精密微量供气系统