一、基础信息

• 型号：V‑20‑6.35

• 产品类型：针型调节阀（计量阀 / 微调阀）

• 接口通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 系列：V‑20 系列超高纯精密针阀

• 定位：半导体微量气体精密调节、流量微调、压力控制、吹扫流量精准控制，适配 SiC/GaN、ALD、刻蚀精密工艺

二、型号释义

• V‑20：富士金标准精密针阀系列，微调精度高、结构紧凑

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构特点

1. 锥形针阀密封结构，可无级精准微调流量，开度可控，适合微量 / 小流量精密调节

2. 阀杆无填料，采用金属密封结构，低泄漏、低颗粒析出

3. 低死区设计，气置换干净，适配超高纯、腐蚀性气体

4. 紧凑型外形，适合气体面板密集安装，调节手柄带刻度指示

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 阀芯 / 阀针：SUS316L / 哈氏合金，耐 HCl、HI、HF、WF₆等强腐蚀

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公头

五、关键技术参数

• 最高工作压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 调节方式：手动旋转手柄，可锁定开度

• 泄漏等级：外漏 ≤5×10⁻¹² Pa・m³/s

• 适用流量：微量～小流量区间精准调节

六、适用介质与应用场景

适用气体

典型应用

1. ALD、刻蚀设备微量吹扫流量精准调节

2. MFC 旁路微调、压力缓冲控制

3. 特气柜、气体面板小流量支路精密控制

4. SiC/GaN 第三代半导体精密工艺气路