一、基础信息

• 型号：AFMO‑01‑6.35

• 产品类型：UHP 高纯过滤器（气体微粒过滤器）

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 系列：AFMO 系列金属烧结精密过滤器

• 定位：半导体超高纯气路颗粒过滤，保护阀门、MFC、机台精密部件，特气柜 / 气体面板标配

二、型号含义

• AFMO：FUJIKIN UHP 高纯金属过滤器系列

• 01：滤芯精度等级，0.003 μm（3nm） 纳米级超精密过滤

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构与优势

1. 全 316L 不锈钢烧结滤芯，纳米级孔径，可拦截亚微米 / 纳米级颗粒

2. 低死区、流道洁净，气置换快，低金属析出

3. 耐强腐蚀、耐高温，适配 HCl、HI、HF、WF₆等腐蚀性特气

4. 紧凑型设计，VCR 直连，面板安装方便

5. 可反向冲洗，使用寿命长

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光，可选 UP 超抛光

• 滤芯：SUS316L 烧结金属

• 密封：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公母头

五、关键技术参数

• 过滤精度：0.003 μm（3 nm）

• 最高工作压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 最大压差：0.5 MPa

• 流向：VCR 公端 → VCR 母端

• 洁净等级：满足半导体 12 寸、SiC 优良制程颗粒管控要求

六、适用介质与应用场景

适用气体

典型应用

1. MFC 前端过滤，保护质量流量控制器

2. 特气柜、气体面板主管 / 支路颗粒拦截

3. 刻蚀、CVD、ALD、扩散设备进气过滤

4. SiC/GaN 第三代半导体产线精密供气系统