一、基础信息

• 型号：CBV3‑S‑6.35

• 系列：CBV3 系列 单向阀（止回阀）

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 结构：弹簧式单向阀，立式紧凑型

• 定位：半导体超高纯气路防回流、防止气体倒灌、保护 MFC / 阀门、特气柜单向控制

二、型号含义

• CBV3：第 3 代紧凑型高纯单向阀系列

• S：弹簧式结构，标准开启压力

• 6.35：接口通径 6.35 mm（1/4" VCR）

三、核心结构特点

1. 弹簧‑球式单向密封，正向导通、反向自动截止，防止气体回流

2. 超小体积，面板安装紧凑，适配高密度气路布局

3. 全金属接液，低死区、低发尘，气置换性能优异

4. 可承受真空‑正压工况，抗腐蚀、抗氢脆

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 阀芯 / 球体：SUS316L

• 弹簧：哈氏合金 C‑22，耐 HCl、HI、HF、WF₆、SiH₄等强腐蚀

• 密封面：金属‑软密封（PCTFE），零泄漏

• 接口：1/4" VCR 公母一体

五、关键技术参数

• 最高工作压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• 开启压力：约 7 kPa（0.007 MPa）

• 反向泄漏：零泄漏

• Cv 值：0.35（N₂，20℃）

• 流向：VCR 公口 → VCR 母口（正向）

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. MFC 质量流量控制器后端防回流保护

2. 特气柜、气体面板防止气体倒灌、交叉污染

3. 刻蚀、CVD、ALD 设备气路单向控制

4. SiC/GaN 第三代半导体产线高纯气路