一、基础信息

• 型号：FUBV‑915‑6.35

• 产品类型：915 系列 高纯手动波纹管阀（紧凑型 UHP 波纹管阀）

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：超高纯、零外泄漏、紧凑型结构，用于半导体精密气路、高危特气、狭小空间安装

二、型号代码释义

• FUBV：FUJIKIN Ultra‑pure Bellows Valve 高纯波纹管阀

• 915：915 紧凑型系列，结构更短、体积更小，面板安装更省空间

• 6.35：接管通径 6.35 mm（1/4 英寸 VCR）

三、核心结构特点

1. 紧凑型短体设计，整体长度比 71 系列波纹管阀更短，适合密集型气体面板布局

2. 金属波纹管全焊接密封，零外泄漏，无填料密封，杜绝介质外泄

3. 流道低死区，气置换性能好，低颗粒、低金属析出

4. 阀杆升降式启闭，手感稳定，开关行程短

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 波纹管：哈氏合金 C‑22，耐 HCl、HI、HF、WF₆、SiH₄等强腐蚀、抗氢脆

• 阀座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公头

五、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.30（氮气，20℃）

• 阀座泄漏：零泄漏

• 外部泄漏：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s（氦质谱检漏）

• 操作方式：手动旋转启闭

六、适用介质与应用场景

适用气体

典型应用

1. 半导体设备狭小空间高危气体隔离阀

2. 特气柜、气体面板紧凑型波纹管阀位

3. CVD、刻蚀、ALD 精密微量气路

4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺