一、基础信息

• 型号：FPR‑BW‑71‑6.35‑PA

• 产品类型：气动波纹管密封隔膜阀（气动波纹管阀）

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 所属系列：71 系列高纯波纹管气动阀

• 定位：超高纯、零外泄漏、高危特气自动化控制，用于自燃、剧毒、强腐蚀气体、半导体特气柜、SiC/GaN 优良制程

二、型号含义

• FPR：FUJIKIN Pneumatic 气动阀

• BW：Bellows 波纹管密封结构

• 71：标准阀体，VCR 接口，EP 电解抛光

• 6.35：接管口径 6.35 mm

• PA：Pneumatic Actuator 标准气动执行器

三、核心结构与优势

1. 金属波纹管动密封，无填料，真正零外泄漏，安全等级远高于普通气动隔膜阀

2. 波纹管隔绝阀杆与介质，杜绝介质外泄，适配硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危气体

3. 低死区、流道洁净，气置换性能优异，低发尘、低金属析出

4. 气动自动控制，适配 PLC / 电磁阀远程开关，自动化气路专用

5. 抗真空、耐压差，负压‑正压切换稳定

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

• 波纹管：哈氏合金 C‑22，耐氢脆、耐卤素、耐强腐蚀

• 阀座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公头

五、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃～+80℃

• Cv 值：0.32（氮气，20℃）

• 泄漏：阀座零泄漏；外漏 ≤1×10⁻¹² Pa・m³/s

• 控制气源压力：0.4–0.6 MPa

• 开关寿命：≥100 万次

• 动作形式：默认常闭 NC（通气开启，断气关闭）

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. 半导体特气柜高危气体自动隔离阀

2. CVD、刻蚀、ALD 设备高危气体自动化管路

3. 高真空系统、检漏系统自动控制

4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺