一、基础信息

• 型号：UFL‑7100‑6.35

• 系列：7100 系列 高压金属波纹管阀（超高压力・零泄漏）

• 驱动方式：手动

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：超高压氢气、高压特种气体、易燃易爆 / 剧毒气体、半导体高压特气柜、氢能设备专用阀

二、型号代码释义

• UFL：Ultra‑high pressure Bellows Valve 超高压波纹管手动阀

• 7100：7100 高压系列，耐压等级远高于常规 71 系列

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4 英寸）

三、核心结构特点

1. 全金属波纹管焊接密封，零外泄漏，无填料、无泄漏隐患，适合 H₂高压场景

2. 阀体加厚高压锻造结构，耐压能力强

3. 死区小、流道洁净，低颗粒析出，满足半导体超高纯要求

4. 耐高压、耐氢脆、耐强腐蚀，适配高压氢气、HCl、HI 等高危气体

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L 高压级不锈钢，EP 电解抛光

• 波纹管：哈氏合金 / 镍基合金，抗氢脆、抗疲劳、耐腐蚀

• 阀座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 高压型公头

五、关键技术参数

• 最高使用压力：20.5 MPa（205 bar）（常规阀仅 1 MPa）

• 流体温度：‑10℃～+80℃

• Cv 值：0.28（氮气，20℃）

• 泄漏性能：

• 阀座：零泄漏

• 外漏：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 操作：手动旋转启闭，带高压安全结构

六、适用介质 & 应用场景

适用气体

典型应用

1. 半导体高压氢气供给、SiC/GaN 高压工艺

2. 氢能设备、高压储氢管路、加氢测试系统

3. 高压特气柜、大宗高压气体控制系统

4. 高真空 + 高压切换工况