一、基础信息

• 型号：FUBFL‑71‑6.35

• 产品类型：手动式金属波纹管阀（Bellows Valve）

• 接口：6.35 mm（1/4" VCR）

• 所属系列：富士金 71 系列高纯波纹管阀

• 定位：超高纯、零外泄漏、高危特气专用阀，用于自燃、剧毒、强腐蚀、高真空半导体气路

二、型号含义

• FUBFL：FUJIKIN Bellows Valve 手动波纹管阀

• 71：阀体规格，VCR 接口，EP 电解抛光处理

• 6.35：接管通径 6.35 mm（1/4 英寸）

三、核心结构与优势

1. 金属波纹管全密封结构

   阀杆与阀体之间采用哈氏合金波纹管焊接密封，无填料、无外漏通道，外泄漏等级远优于隔膜阀。

2. 死区小、流道洁净，气体置换性能好，低发尘。

3. 抗真空、耐压差能力强，适合高真空、负压‑正压切换工况。

4. 安全性高，专为硅烷、磷烷、砷烷、HI、HCl 等高危气体设计。

四、接液部材质

• 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25 μm，可选 UP 超抛光

• 波纹管：哈氏合金 C‑22，耐强酸、卤素、腐蚀性特气

• 阀座：PCTFE

• 接口：1/4" VCR 公头

五、技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 适用温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.32（氮气，20℃）

• 阀座泄漏：零泄漏

• 外部泄漏：≤1×10⁻¹² Pa・m³/s（氦质谱检漏）

• 可用于高真空环境

• 操作方式：手动旋转启闭

六、适用介质与应用

适用气体

应用场景

1. 半导体特气柜高危气体隔离阀

2. CVD、刻蚀设备自燃性气体管路

3. 高真空系统、检漏系统

4. SiC/GaN 第三代半导体严苛工艺气路