一、基础信息

• 型号：FBDV‑12.7‑2B3‑PA‑BMP‑UP

• 所属系列：MEGA 系列 大流量气动隔膜阀（B3 大口径流路）

• 驱动方式：气动常闭（NC）

• 通径：12.7 mm（1/2"，大流量主流规格）

• 定位：半导体大宗气体、大流量特气、超纯水、化学品管路、特气柜主管路、SiC 产线大流量供气

二、型号代码逐段解析

• FBDV：MEGA 系列 大流量气动隔膜阀

• 12.7：接管口径 12.7 mm（1/2" VCR）

• 2B3：B3 大流量流路，Cv 值更大，通流能力强

• PA：标准气动执行器

• BMP：低金属析出（Bare Metal Particle），超低金属离子析出，适配严苛高纯 / 腐蚀性气体

• UP：阀体超抛光 Ultra‑Polish，Ra≤0.02μm，优良制程、第三代半导体专用

三、接液部材质（超高纯强耐腐蚀）

1. 阀体：SUS316L，UP 超抛光 Ra≤0.02μm

2. 隔膜：镍‑钴合金，耐 HCl、HI、HF、WF₆、Cl₂等强腐蚀，抗疲劳、低颗粒

3. 阀座：PCTFE，耐化学腐蚀，零泄漏密封

4. 执行器：铝合金阳极氧化，洁净防静电

5. 结构：低死区大流量流路，气置换性能优秀

四、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.65（氮气，20℃）（远大于常规 2 规格 0.35）

• 泄漏性能：阀座零泄漏；外漏 ≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 控制气源压力：0.4–0.6 MPa

• 接口：1/2" VCR 公头

• 开关寿命：≥100 万次

• 表面粗糙度：UP 级 Ra≤0.02μm

五、适用气体与应用场景

适用流体

典型应用

1. 半导体 / 面板 / 光伏 大流量主管路、大宗气体供气

2. SiC/GaN 第三代半导体产线大流量特气控制

3. 刻蚀、CVD、PVD 设备主供气阀、特气柜总管阀

4. 要求低金属析出、超抛光、大流量的超高纯自动化气路