一、基础信息

• 型号：FUNDL‑71G‑6.35‑2

• 所属系列：MEGA 系列 标准型手动高纯隔膜阀（NEW‑MEGA 上一代主流款）

• 操作方式：手动隔膜阀

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 定位：半导体成熟制程、一般特气、超高纯气体、化学品管路，性价比主力型号

二、型号代码含义

• FUNDL：MEGA 系列 标准型手动隔膜阀

• 71G：阀体规格，EP 电解抛光、VCR 接口、标准流路

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4 英寸）

• 2：标准流量规格、Cv 代码

三、接液部材质（高纯耐腐蚀）

1. 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm

2. 隔膜：镍‑钴合金，耐疲劳、耐 HCl/HI/HF/WF₆、低发尘

3. 阀座：PCTFE，适配各类腐蚀性特气、高纯气体

4. 手柄：工程塑料，防静电、耐腐蚀

5. 结构：低死区设计，流体滞留少，气置换良好

四、核心技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮气 20℃）

• 内漏：阀座零泄漏

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 接口：1/4" VCR 公头（UJR）

• 操作：手动旋转开关，带开关到位手感

五、适用气体 & 应用场景

• 高纯气体：N₂、Ar、He、H₂、O₂

• 腐蚀性气体：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄、NF₃

• 应用：8 寸晶圆、成熟 12 寸制程、光伏、面板、特气柜旁路、吹扫管路、设备维修手动隔离阀