一、基础信息

• 型号：FPR‑UDDF‑71‑6.35‑NL‑PA‑UP

• 所属系列：NEW‑MEGA 系列 两段式气动隔膜阀（双作用 / 两段切换阀）

• 通径：6.35 mm（1/4" VCR）

• 类型：气动两段式、双行程、零死区高纯隔膜阀

• 定位：半导体优良制程、SiC/GaN、特气柜、刻蚀 / 沉积设备，用于吹扫‑隔离两段控制、微量控制、预开启 + 全开启模式

二、型号代码逐段解析

• FPR：FUJIKIN Pneumatic Regulator 气动隔膜阀

• UDDF：Two‑stage Double‑acting 两段式双作用执行器（两段开启：预开→全开）

• 71：NEW‑MEGA 标准阀体结构

• 6.35：接管口径 6.35mm（1/4"）

• NL：Non‑Lube 无润滑型，超高洁净、无硅油污染

• PA：Pneumatic Actuator 标准气动执行器

• UP：Ultra‑Polish 阀体超抛光处理（Ra≤0.02μm），12 寸 / SiC 优良制程专用

三、结构原理（两段式核心）

1. 第一段（预开）：小开度，用于管路缓慢通气、吹扫、降压、防止冲击

2. 第二段（全开）：打开，达到额定流量

   优势：避免瞬间高压冲击、防止颗粒扬起、提升气路稳定性，适合精密特气控制

四、接液部材质（高纯耐强腐蚀）

• 阀体：SUS316L，UP 超抛光 Ra≤0.02μm

• 隔膜：镍‑钴合金，耐 HCl、HI、HF、WF₆、Cl₂等强腐蚀气体，长寿命低发尘

• 阀座：PCTFE

• 无润滑剂（NL）：全程无油脂，杜绝有机污染，适配 EUV、优良逻辑 / 存储芯片、第三代半导体

五、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa

• 流体温度：‑10℃～+80℃

• Cv 值：0.35（氮气，20℃）

• 泄漏：阀座零泄漏；外漏 ≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 控制气源：0.4–0.6 MPa（两路气源分别控制两段动作）

• 接口：1/4" VCR 公头

• 开关寿命：≥100 万次

• 表面粗糙度：UP 级 Ra≤0.02μm

六、适用流体与典型应用

适用气体

典型场景

1. 特气柜、气体面板两段式吹扫隔离

2. 刻蚀、PVD、CVD 机台精密供气控制

3. SiC/GaN 第三代半导体、12 寸优良晶圆制程

4. 要求无油、超洁净、缓慢通气防冲击的超高纯气路