一、基础信息

• 型号：FPR‑SD‑71‑6.35‑2

• 系列：NEW‑MEGA 系列 气动常开隔膜阀（富士金超高纯旗舰阀）

• 动作形式：气动常开 NO（通气关闭，断气自动打开）

• 通径：6.35 mm（1/4"）

• 定位：半导体超高纯气路、特气、腐蚀性气体自动切断 / 导通，用于吹扫、旁路、应急常开回路

二、型号代码解析

• FPR：FUJIKIN 气动隔膜阀系列

• SD：Normally Open 常开型（失气开启）

• 71：NEW‑MEGA 标准阀体，EP 电解抛光，VCR 接口

• 6.35：接管口径 6.35mm（1/4 英寸）

• 2：标准流路规格、Cv 规格

三、接液部材质（高纯耐腐蚀）

1. 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

2. 隔膜：镍‑钴合金，抗疲劳、耐 HCl/HI/HF/WF₆、低颗粒析出

3. 阀座：PCTFE，耐强腐蚀特气

4. 执行器：铝合金阳极氧化，洁净防静电

5. 结构：零死区设计，无流体滞留，气置换优异

四、核心技术参数

• 最高工作压力：1.0 MPa

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮气 20℃）

• 内漏：阀座零泄漏

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检标准）

• 控制气源压力：0.4～0.6 MPa

• 接口：1/4" VCR 公头（UJR）

• 开关寿命：≥100 万次

• 响应速度快，适配 PLC 自动化控制

五、适用气体与应用场景

• 高纯气体：N₂、Ar、He、H₂、O₂

• 腐蚀性特气：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄、NF₃

• 典型用途：

• 气体吹扫回路、旁路回路

• 应急常开管路（断电 / 断气自动通气）

• 刻蚀、沉积、清洗设备、特气柜、气体面板

• 8/12 寸晶圆、SiC/GaN 第三代半导体优良制程

六、常用后缀（完整订货型号）

• ‑PA：标准气动执行器

• ‑UP：阀体 UP 超抛光（12 寸 / SiC 工艺推荐）

• ‑NL：无润滑剂超洁净型

• ‑BMP：低金属析出、超高纯版本