一、基础信息

• 型号：FPR‑ND‑71‑6.35‑2

• 所属系列：NEW‑MEGA 系列 气动常闭隔膜阀（半导体旗舰高纯阀）

• 驱动方式：气动常闭 NC（通气打开，断气自动关闭）

• 通径：6.35 mm（1/4"）

• 用途：半导体特气、超高纯气体、腐蚀性气体自动开关，特气柜、机台气路、SiC/GaN 先进制程

二、型号代码含义

• FPR：FUJIKIN Pneumatic Regulator 气动阀

• ND：Normally Closed 常闭型（标准主流）

• 71：NEW‑MEGA 标准阀体，EP 电解抛光，VCR 接口

• 6.35：接管口径 6.35 mm（1/4"）

• 2：标准流路、Cv 规格

三、接液部材质（高纯耐腐蚀）

1. 阀体：SUS316L，EP 电解抛光 Ra≤0.25μm，可选 UP 超抛光

2. 隔膜：镍‑钴合金（哈氏合金类），抗疲劳、耐 HCl/HI/HF、低发尘

3. 阀座：PCTFE，耐强腐蚀特气

4. 执行器：铝合金阳极氧化，洁净防静电

5. 结构：零死区、无滞留死角，气置换性能优异

四、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa（10 bar）

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（N₂，20℃）

• 泄漏等级：

• 阀座：零泄漏

• 外部泄漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 控制气源压力：0.4～0.6 MPa（4–6 bar）

• 接口：1/4" VCR 公头（UJR）

• 开关寿命：≥100 万次

• 响应速度：快速开闭，适合自动控制

五、适用气体 & 工况

• 惰性 / 高纯气体：N₂、Ar、He、O₂、H₂

• 腐蚀性气体：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄、NF₃

• 应用场景：刻蚀、沉积、扩散、清洗设备、特气柜、气体面板、超高纯自动气路

• 适配制程：8/12 寸晶圆、第三代半导体 SiC/GaN

六、可选后缀（选型常用）

• ‑PA：标准气动执行器

• ‑UP：阀体 UP 超抛光（Ra≤0.02μm，12 寸 / SiC 优先）

• ‑NL：无润滑剂超洁净型

• ‑BMP：低金属析出版本