一、产品基础信息

• 型号：NFUND‑71G‑6.35‑2

• 系列归属：NEW‑MEGA 系列 手动超高纯隔膜阀（富士金顶级旗舰）

• 通径：6.35 mm（1/4"）

• 类型：手动、直动式、零死区隔膜阀

• 应用定位：半导体 12 寸晶圆、SiC、先进制程、超高纯特气管路专用

二、型号含义拆解

• NFUND：NEW‑MEGA 系列 手动隔膜阀

• 71G：阀体规格代码，EP 电解抛光、VCR 接口、标准型

• 6.35：接管通径 6.35mm（1/4 英寸）

• 2：标准流路规格、Cv 规格代码

三、核心结构与材质（接液部全高纯）

1. 阀体：SUS316L，EP 电解抛光（Ra≤0.25μm），可选 UP 超抛光

2. 隔膜：镍‑钴合金（哈氏合金系），抗疲劳、耐强腐蚀、极低掉颗粒

3. 阀座：PCTFE，耐 HF、HCl、HI、WF₆等腐蚀性特气

4. 手柄：聚酰亚胺，耐高温、防静电、耐腐蚀

5. 结构：零死区设计，无流体滞留死角，气置换性能佳

四、关键技术参数

• 最高使用压力：1.0 MPa（10 bar）

• 流体温度：‑10℃ ～ +80℃

• Cv 值：0.35（氮气 20℃）

• 泄漏等级：

• 阀座内漏：气泡级零泄漏

• 外漏：≤5×10⁻¹² Pa・m³/s（氦检）

• 接口形式：VCR 公头 1/4"（UJR 接口）

• 操作方式：手动旋转手柄开关，带开闭手感反馈

五、适用流体与工况

• 高纯气体：N₂、Ar、He、O₂、H₂

• 腐蚀性气体：HCl、HI、HF、Cl₂、WF₆、SiH₄

• 适用场景：刻蚀、薄膜沉积、扩散、清洗机台、特气柜、气体面板、超高纯气路

• 适配工艺：8/12 寸晶圆、第三代半导体 SiC/GaN 先进制程

六、产品优势

1. NEW‑MEGA 系列最小死区、最高洁净度，满足先进半导体严苛颗粒要求

2. 隔膜长寿命，疲劳次数远超普通 MEGA 系列

3. 体积紧凑，面板安装密度高

4. VCR 标准接口，适配富士金全系列接头，互换性强