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TORAY东丽代理 氧化锆氧气表(痕量氧分析仪
产品简介:

TORAY东丽代理 氧化锆氧气表(痕量氧分析仪
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

产品型号:LC-860

更新时间:2026-05-13

厂商性质:经销商

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产品介绍

TORAY东丽代理 氧化锆氧气表(痕量氧分析仪 TORAY东丽代理 氧化锆氧气表(痕量氧分析仪

东丽 TORAY LC-860 氧化锆氧气表(高精度痕量氧分析仪)

LC-860是日本东丽(TORAY)高性能交流供电、内置采样泵式氧化锆氧分析仪,主打ppb 级痕量氧~100% VOL 超宽量程、高精度、高稳定,专为半导体、高纯气体、真空制程等工业与科研场景设计,是 LC-450 系列的升级高性能版

一、测量原理

基于氧化锆浓差电池(能斯特方程):内置高稳定氧化锆传感器在约700℃高温下,依据两侧氧分压差产生电压信号,精准换算氧浓度,线性覆盖痕量(ppb 级)至纯氧全区间。

二、核心特点

  1. 超宽超高精度量程,ppb 级起测

  • 测量范围:0.1ppm~100vol%O₂(可扩展至 ppb 级,<1ppm 为参考值)。

  • 多档量程:0–1/10/100/1000ppm、1/10/100%,自动 / 手动切换

  • 稳定性:±1%FS/24h(空气点),适合长期连续监测。

  1. 内置高精度采样系统,三重过滤强防护

  • 采样:内置高精密抽吸泵,流量 1000–2000mL/min,传感器流量 200±50mL/min。

  • 过滤:活性炭 + 棉质 + Si 三重过滤,强效阻隔粉尘、有机物、含硅气体、油雾,大幅延长传感器寿命(≥5 年)

  • 远程控制:支持泵外部接触驱动,远程启停采样泵,适配自动化集成。

  1. 高精度 + 快响应,科研级稳定

  • 重复性:±1% FS(≥10ppm 量程),优于常规工业级。

  • 响应时间:≤30 秒(90% 响应);预热≤20 分钟。

  • 传感器:特殊抗污染涂层 + 高温稳定工艺,抗硅污染、抗老化,适配复杂工况。

  1. 6 位 LED 高清显示 + 丰富输出,易集成

  • 显示:6 位 LED 数码管,高精度浓度直读,自动 / 手动量程切换。

  • 输出:4–20mA/0–10V(隔离)、RS-232C;2 路浓度报警 + 1 路故障报警(无电压触点)。

  • 接口:样气入口 Rc1/8、旁通出口 Rc1/8、出口 Rc1/4,适配标准管路。

  1. 工业级合规 + 耐用设计

  • 供电:AC100–240V,50/60Hz,全球通用。

  • 合规:CE、UKCA、RoHS 认证,符合 EN61010-1、EN61326-1 标准。

  • 安装:桌面 / 面板嵌入,尺寸 288×144×400mm,重约 10kg。


三、技术参数(总览)

参数规格
型号LC-860(交流供电,高性能痕量型)
测量原理氧化锆浓差电池(能斯特方程)
测量范围0.1ppm~100vol% O₂(ppb 级可扩展,<1ppm 无保证)
重复性±1% FS(≥10ppm 量程)
稳定性±1% FS/24h(空气点)
响应时间≤30 秒(90% 响应)
预热时间≤20 分钟
采样方式内置泵连续抽吸,1000–2000mL/min;传感器 200±50mL/min
样气条件压力≤30kPa;温度 0–50℃;露点<环境温度;无腐蚀性气体 / 硅 / 油雾
传感器温度约 700℃
显示6 位 LED 数码管
模拟输出4–20mA/0–10V(隔离,负载≤600Ω)
数字通信RS-232C
报警输出2 路浓度(HH/H/L/LL)、1 路故障(无电压触点)
电源AC100–240V,50/60Hz
尺寸 / 重量288×144×400mm,约 10kg

四、典型应用

  • 半导体 / 电子:高纯 N₂/Ar 管道、真空腔体、氮气柜、外延 / 刻蚀设备ppb 级痕量氧监测

  • 工业炉 / 热处理:精密退火炉、烧结炉、气氛炉低氧 / 微氧控制

  • 新能源 / 化工:锂电池手套箱、高纯气体、反应釜、特种气体高精度氧分析

  • 科研 / 实验室:高校、研究所微量氧实验、气体分析校准



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