TORAY东丽代理 氧化锆多点氧分析仪
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TORAY东丽代理 氧化锆多点氧分析仪
TORAY东丽代理 氧化锆多点氧分析仪
东丽 TORAY MS-500/MS-510/SD 氧化锆多点氧分析仪

一、测量原理

二、核心特点

1. 最多 8 点同步测量，大幅降低多点监测成本

• 1 台 MS-500 控制器可连接1～8 套（MS-510+SD 传感器），同时显示 / 输出各点氧浓度。

• 各测点独立，互不干扰，适合多腔体、多管道、多工位同步监控。

2. 分体式直插设计，适配真空与狭小空间

• SD 传感器：直插真空腔 / 管道，无需采样系统；接口为NW16/NW25/NW40 真空法兰（型号 SD16NW/SD25NW/SD40NW）。

• MS-510 转换器：壁挂 / 就近安装，标准 2 米线缆（最长 10 米）连接传感器与 MS-500 控制器。

3. 超宽量程 + 高精度，ppb 级稳定测量

• 测量范围：0.001ppm（ppb）～100vol% O₂；氧分压显示 10⁻²⁰～10⁰ atm，自动量程切换。

• 重复性：

• ≥1% 量程：±0.5%FS

• ＜1% 量程：±1.0% FS 或 ±0.1ppm（取大值）

4. 超快响应 + 高耐用性

• 预热≤6 分钟；响应时间 **≤1 秒（传感器）**。

• 传感器特殊抗污染涂层 + 内置保护机制，抗粉尘 / 轻微腐蚀，寿命优于传统型号。

5. 精简输出，易集成

• 标配 RS-232C（D-sub 9 针），可选LAN 以太网输出，适配 PLC / 上位机系统。

三、技术参数（总览）

四、典型应用

• 半导体：多腔真空镀膜、溅射、刻蚀设备多点氧监控。

• 真空设备：多室真空炉、退火炉、密封腔体同步检测。

• 惰性气氛：大型手套箱、多工位焊接保护气、金属 3D 打印阵列舱。

• 工业自动化：需多点氧浓度监控的批量生产设备，节省空间与成本。