Leybold/莱宝 TURBOVAC MAG 系列
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Leybold/莱宝 TURBOVAC MAG 系列Leybold/莱宝 TURBOVAC MAG 系列
莱宝 TURBOVAC MAG 系列（全磁悬浮・无油超高真空涡轮分子泵）

一、核心型号与技术参数（极限真空＜1×10⁻⁸ mbar，UHV 版可达 1×10⁻¹¹ mbar）

MAGiNTEGRA（W 300–2200 iP/P，集成驱动）

MAG iS（2807/3207 iS，工业级高抽速，2025 新系列）

• 前级耐压：最高1.1 mbar（适配干泵 / 罗茨泵组合）

• 振动：＜0.01 mm/s（超低振动，适配精密仪器）

• 噪音：＜38 dB (A)（静音运行）

• 轴承系统：5 轴主动磁悬浮，无机械接触、终生免维护

• 润滑 / 洁净：全无油设计，无碳氢污染，满足ISO 7 级洁净室

• 认证：CE、SEMATECH、ATEX（可选防爆）、UHV（全金属密封）

二、核心结构：5 轴全磁悬浮轴承（无油免维护核心）

• 全磁悬浮转子（无接触・零磨损）

• 5 轴电磁悬浮控制，转子悬浮无机械接触，终生无磨损、免维护，维护周期＞80,000 小时或 10,000 次启停循环。

• 无轴承摩擦，极限真空可达1×10⁻⁸ mbar，UHV 版（全金属密封）可达1×10⁻¹¹ mbar。

• 集成驱动 + 智能控制

• 内置高频变频器，24 VDC 低电压供电，即插即用，无需额外控制器。

• 接口：RS485/USB/ 数字 I/O，支持Anybus 现场总线（Profinet/EtherCAT），适配工业自动化。

• 自诊断 + 保护：过流、过压、过热、前级压力异常自动保护，支持远程监控。

• 复合涡轮转子（高抽速・高压缩比）

• 多级涡轮 + 复合流道设计，轻气体（H₂/He）抽速优异，氮气压缩比高达10¹⁰。

• 耐受微量粉尘 / 颗粒，适配镀膜、刻蚀等含颗粒制。

三、关键核心特点（对比 i 系列混合轴承）

1. 无油洁净，无污染

• 全磁悬浮全程无油，无油雾、无返油、无磨损碎屑，杜绝碳氢污染，满足半导体 UHV 制程要求。

• 极限真空比 i 系列高 1 个数量级，适配同步辐射、表面科学等超高真空场景。

2. 全磁悬浮免维护，寿命极长

• 5 轴磁悬浮无机械接触，终生免维护，无需换油 / 换轴承，维护成本降低 95%。

• 连续运行寿命＞10 万小时，启停循环＞10,000 次，适配 24 小时连续量产线。

3. 超低振动 + 静音，适配精密设备

• 磁悬浮无摩擦，振动＜0.01 mm/s，比 i 系列低 5 倍，适配质谱、电镜、光刻等超高精密仪器。

• 噪音＜38 dB(A)，实验室 / 洁净室环境友好。

4. 高抽速 + 轻气高效，大流量处理

• 抽速覆盖300–3200 l/s，H₂抽速最高达 1500 l/s，解决传统泵轻气抽速低的痛点。

• MAG iS（3207）抽速达3200 l/s，为 3000 l/s 级别中 ** 紧凑最轻（＜60 kg）** 的磁悬浮泵。

5. 任意角度安装 + 强耐受性

• 可垂直 / 水平 / 倒置任意角度安装，适配复杂腔体布局与狭小空间。

• 耐受冲击性充气、微量粉尘、辐射（iR 版本），适配核物理、空间模拟等严苛环境。

四、典型应用（超高洁净 / 超高真空场景）

• 半导体 / 微电子：沉积（ALD/PECVD）、刻蚀、离子注入、氦检漏、真空载具（UHV、无污染）。

• 分析仪器：质谱（MS）、电子显微镜（SEM/TEM）、X 射线衍射（XRD）、表面分析设备（超高真空、无油）。

• 真空镀膜：光学镜片、光伏电池、半导体晶圆、装饰膜（高真空稳定、无油雾、低振动）。

• 科研 / 实验室：同步辐射、核聚变研究、低温物理、真空测试系统（UHV、高洁净、免维护）。

• 工业真空：电子束焊接、真空热处理、真空封装、精密检漏（紧凑高效、免维护）。