HORIBA/堀场 半导体化学溶液浓度监测器
诚信为本、专业高效、客户共赢、赋能产业
成为连接*半导体资源与国内终端需求的核心桥梁

一、核心定位

二、工作原理

• 测量原理：紫外 - 可见 - 近红外吸收光谱（光纤分光）。

• 检测方式：传感头直接夹装 PFA 管道外壁，光源 / 分光模块置于主机，光纤传输信号，非接触药液。

• 浓度计算：温度补偿多元校正算法，抗温度 / 气泡干扰，无需试剂。

三、关键参数

四、核心优势

1. 超小型光纤传感头：传感头体积减 60%，适配设备紧凑空间；分体式设计，主机远离高温 / 腐蚀环境，可靠性更高。

2. 三倍波长覆盖，多药液兼容：波长范围扩展，可测更多种类湿法药液，单台适配多制程，降低设备成本。

3. 非接触，无污染无泄漏：传感头仅夹装管道外壁，不接触药液，无析出、无泄漏风险，保障高纯药液品质与制程安全。

4. 高精度与稳定性：内置参考光路，抵消光源漂移 / 环境干扰；温度补偿 + 气泡补偿算法，长期稳定，重复性≤±0.15% FS。

5. 低维护，长寿命：LED 光源 5 年质保；每 6 个月仅需背景校准，无需更换耗材，维护成本低。

6. 易安装，免动火：无需改造管路，直接夹装现有 PFA 管道，安装 / 拆卸便捷，减少停机时间。

五、典型应用

• 半导体清洗：SC-1/SC-2、HF、HCl 等清洗液浓度实时监控。

• 光刻工艺：TMAH 显影液浓度 / 温度同步监测。

• 蚀刻制程：湿法蚀刻液（如 HF/HNO₃混合液）成分分析。

• 优良制程：2nm/3nm 节点高纯药液质量控制，降低缺陷率。